Physikalische und chemische Gasphasenabscheidung von amorphem hydrogenisiertem Germanium:
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| Published: |
Aachen
Shaker
2002
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
2.
ALLGEMEINE
PHYSIKALISCHE
UND
EXPERIMENTELLE
GRUNDLAGEN
3
2.1.
DAS
AMORPHE
NETZWERK
.
3
2.2.
DIE
ELEKTRONISCHE
ZUSTANDSDICHTE
.
4
2.3.
DER
SPUTTERPROZESS
.
5
2.4.
THERMO-KATALYTISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
.
8
3.
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
12
3.1.
CHARAKTERISIERUNG
DER
MATERIALEIGENSCHAFTEN
.
12
3.1.1.
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.
12
3.1.2.
PDS-MESSUNG
(PHOTOTHERMISCHE
ABLENKUNGSSPEKTROSKOPIE)
.
17
3.1.3.
PHOTO
UND
DUNKELLEITFAEHIGKEIT
.
19
3.1.4.ELLIPSOMETRIE
.
20
3.1.5.
WEITERE
ANALYSEVERFAHREN
.
20
3.2.
CHARAKTERISIERUNG
DER
GASPHASE
.
22
4.
APPARATIVER
AUFBAU
25
5.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
31
5.1.
UNTERSUCHUNGEN
AM
MAGNETRONPLASMA
.
31
5.1.1.
PLASMAPARAMETER
.
31
5.1.2.
ENERGIEVERTEILUNGEN
BEI
UNTERSCHIEDLICHEN
PLASMABEDINGUNGEN
.
35
5.2.
DEPOSITION
VON
A-GE:H
DURCH
KATHODENZERSTAEUBUNG
.
46
5.2.1.
AUSWIRKUNGEN
DER
LONENENERGIEN
AUF
DAS
SCHICHTWACHSTUM
.
46
5.2.2.
AUSWIRKUNGEN
DER
NEUTRALTEILCHENENERGIEN
AUF
DAS
SCHICHTWACHSTUM
.
55
5.2.3.
AUSWIRKUNGEN
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
AUF
DAS
SCHICHTWACHSTUM
.
59
5.3.
DEPOSITION
VON
A-GE:H
MIT
DEM
HOT-WIRE-VERFAHREN
.
65
5.3.1.
EINFLUSS
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
AUF
DIE
EIGENSCHAFTEN
VON
HW-A-GE:H-SCHICHTEN.
66
5.3.2.
EINFLUSS
DER
FILAMENTTEMPERATUR
AUF
DIE
EIGENSCHAFTEN
VON
HW-A-GE:H-SCHICHTEN.
73
5.3.3.
EINFLUSS
DES
GERMANDRUCKES
AUF
DIE
A-GE:H-SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
78
5.3.4.EINFLUSS
DES
GASFLUSSES
AUF
DIE
A-GE:H-SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
83
5.3.5.
WASSERSTOFFVERDUENNUNG
DES
PROZESSGASES
.
86
5.4.
A-SIGE:H
HERGESTELLT
MIT
DEM
HOT-WIRE-VERFAHREN
.
89
5.5.
PIN
SOLARZELLEN
MIT
LEGIERUNGSMATERIAL
ALS
I-SCHICHT
.
95
6.
ZUSAMMENFASSUNG
100
LITERATURANGABEN
102
IV |
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