Heterostruktursolarzellen aus amorphem und kristallinem Silicium:
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Aachen
Shaker
2002
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| Series: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
V
ABSTRACT
IX
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
5
2.1
SOLARZELLEN
.
.
;
.
5
2.1.1
AUFBAU
UND
FUNKTIONSPRINZIP
.
5
2.1.2
STROM-/SPANNUNGSKENNLINIEN
.
7
2.2
HETEROSTRUKTUREN
.
8
2.2.1
GRUNDLAGEN
.
8
2.2.2
DIE
HETEROSTRUKTUR
AUS
AMORPHEM
UND
KRISTALLINEM
SILICIUM
.
11
2.3
EXTERNE/INTERNE
QUANTENAUSBEUTE
.
12
2.3.1
DEFINITION
.
12
2.3.2
AUFBAU
.
12
2.3.3
ANALYSEMETHODE
.
14
2.4
ADMITTANZSPEKTROSKOPIE
.
16
2.4.1
DEFINITION
.
16
2.4.2
MESSUNG
.
16
2.4.3
ANALYSEMETHODEN
.
18
3
TECHNOLOGIE
VON
A-SI:H/C-SI
SOLARZELLEN
23
3.1
PROZESSSCHRITTE
.
23
3.2
PARAMETERSTUDIEN
.
25
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.2.1
WAFERREINIGUNG
.
26
3.2.2
OXIDENTFERNUNG
.
26
3.2.3
ZWISCHENSCHICHT
AUS
(I)
A-SI:H
.
27
4
REKOMBINATIONSANALYSE
31
4.1
GRUNDLAGEN
.
31
4.1.1
REKOMBINATION
.
31
4.1.2
BEGRENZUNG
DER
LEERLAUFSPANNUNG
V
OC
.
34
4.1.3
ANALYSE
DER
SPERRSAETTIGUNGSSTROMDICHTE
JO
.
36
4.2
EXPERIMENTELLE
RESULTATE
.
36
4.2.1
REKOMBINATIONSVERLUSTE
IM
EMITTER
.
37
4.2.2
REKOMBINATIONSVERLUSTE
IN
DER
BASIS
.
38
4.2.3
KENNLINIENANALYSE
.
39
4.2.4
KAPAZITAETS-/SPANNUNGSMESSUNGEN
.
44
4.2.5
REKONSTRUKTION
DES
BANDDIAGRAMMS
.
44
4.2.6
DOMINANTER
REKOMBINATIONSMECHANISMUS
.
46
4.2.7
REKORDSOLARZELLE
AUS
(N)
A-SI:H/(P)
C-SI
.
48
4.2.8
WAHL
DER
DOTIERFOLGE
.
49
4.2.9
VERGLEICH
MIT
HOCHEFFIZIENZSOLARZELLEN
.
50
4.2.10
SOLARZELLEN
MIT
BASIS
AUS
POLYKRISTALLINEM
SILICIUM
.
52
5
GLEICHSTROMEIGENSCHAFTEN
59
5.1
GRUNDLAGEN
.
59
5.2
MODELL
DES
ELEKTRISCHEN
GLEICHSTROMTRANSPORTS
.
61
5.2.1
ENERGIEUMLAUF
.
63
5.2.2
LADUNGSBILANZ
.
63
5.2.3
STROMKONTINUITAET
.
66
5.2.4
LOESUNGSSCHEMA
DER
MODELLGLEICHUNGEN
.
68
5.2.5
DISKUSSION
DER
ANGENOMMENEN
NAEHERUNGEN
.
68
5.3
RESULTATE
AUS
MODELLRECHNUNGEN
.
70
5.3.1
FREIE
LADUNGSTRAEGER
AN
DER
GRENZFLAECHE
.
71
5.3.2
LADUNG
AN
GRENZFLAECHENZUSTAENDEN
.
75
INHALTSVERZEICHNIS
III
5.3.3
AUSPRAEGUNG
DER
S-FORM
.
77
5.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
RESULTATE
.
80
5.4
EXPERIMENTELLE
RESULTATE
.
81
5.4.1
S-FOERMIG
GEKRUEMMTE
STROM-/SPANNUNGSKENNLINIEN
.
81
5.4.2
MODELLIERUNG
GEMESSENER
GLEICHSTROMKENNLINIEN
.
81
5.4.3
BESTIMMUNG
DER
BANDDISKONTINUITAET
AE
V
.
84
6
WECHSELSTROMEIGENSCHAFTEN
87
6.1
MODELL
DES
ELEKTRISCHEN
WECHSELSTROMTRANSPORTS
.
87
6.1.1
MODELLANSATZ
.
88
6.1.2
KONTINUITAETSGLEICHUNG
FUER
WECHSELSTROM
.
90
6.1.3
LOESUNG
DER
WECHSELSTROMGLEICHUNGEN
.
91
6.1.4
ADMITTANZ
DES
HETEROUEBERGANGS
.
92
6.1.5
LEITWERT
UND
KAPAZITAET
UNTER
KURZSCHLUSS-BEDINGUNGEN
.
93
6.2
RESULTATE
AUS
MODELLRECHNUNGEN
.
94
6.2.1
HETEROUEBERGANG
OHNE
WIDERSTAND
.
95
6.2.2
HETEROUEBERGANG
MIT
WIDERSTAND
.
96
6.3
EXPERIMENTELLE
RESULTATE
.
97
6.3.1
DEFEKTSPEKTROSKOPIE
.
97
6.3.2
DIFFUSIONSADMITTANZ
.
99
A
ADMITTANZ
EINES
DEFEKTZUSTANDS
103
B
STROMTRANSPORT
AM
HETEROUEBERGANG
107
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
111
LITERATURVERZEICHNIS
117
DANKSAGUNG
128
LEBENSLAUF
129 |
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