Einsatz der PVD-Technologie zur Applikation von Lotwerkstoffen für die Herstellung von mikrosystemtechnischen Fügeverbunden:
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| Published: |
Aachen
Mainz
2002
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
ZIELSETZUNG
.
1
1.1
WAS
IST MIKROSYSTEMTECHNIK
?
.
2
1.2
WIRTSCHAFTLICHE
BEDEUTUNG
DER
MIKROSYSTEMTECHNIK
.
3
1.2.1
ERGEBNISSE
DER
NEXUS-STUDIE
/NEXUS
1998/
.
5
2
MIKROSYSTEMTECHNISCHE
FUEGETECHNOLOGIEN
.
11
2.1
WEICHLOETEN
.
11
2.2
BONDVERFAHREN
.
15
2.3
KLEBTECHNIK
.
17
2.4
TRANSIENT
LIQUID
PHASE-BONDEN
.
18
2.5
AKTIVLOETEN
/
WEICHAKTIVLOETEN
.
23
2.6
FAZIT
.
28
3
LOTWERKSTOFFSYSTEME
FUER
DIE
MIKROSYSTEMTECHNISCHE
ANWENDUNG
.
29
3.1
WERKSTOFFSYSTEME
FUER
DAS
TLP-BONDEN
.
29
3.1.1
SY
STEM
KUPFER-ZINN
.
29
3.1.2
SYSTEM
KUPFER-INDIUM
.
31
3.1.3
SYSTEM
KUPFER-INDIUM-WISMUT
.
32
3.2
WERKSTOFFSYSTEME
FUER
DAS
WEICHAKTIVLOETEN
.
34
3.2.1
SYSTEM
86ZINN
1
0SILBER-4TITAN
.
34
3.2.2
SYSTEM
91,8ZINN-4SILBER-4TITAN-0,LGALLIUM-0,LCER
.
34
3.3
ANFORDERUNGEN
AN
TLP
UND
WAL-SCHICHTSYSTEME
.
35
4
PVD-TECHNOLOGIE
.
37
4.1
VERDAMPFUNG
.
37
4.2
TEILCHENTRANSPORT
.
39
4.3
SCHICHTBILDUNG
.
39
5
VERSUCHSMETHODIK
UND
VERSUCHSDURCHFLIHRUNG
.
46
5.1
MSIP-ANLAGENTECHNIK
.
46
5.2
SCHICHTSYSTEMENTWICKLUNG
.
46
5.3
TARGETWERKSTOFFE
.
50
5.4
SUBSTRATWERKSTOFFE
.
50
5.5
VERSUCHSBESCHREIBUNG
.
52
6
ANALYTIK
UND
ERGEBNISSE
DER
BESCHICHTUNGSVERSUCHE
.
55
6.1
SCHICHTDICKE
.
55
SEITE
II
INHALTSVERZEICHNIS
6.2
NANOINDENTATION
.
57
6.3
SCHICHTHAFTUNG
UND
VERBUNDFESTIGKEIT
.
62
6.3.1
KALOTTENSCHLIFF
.
YY
.
62
6.3.2
GITTERSCHNITTPRUEFUNG
.
66
6.4
OBERFLAECHENRAUHEIT
.
70
6.5
SCHICHTSTRUKTUR
UND
SCHICHTMORPHOLOGIE
.
72
6.5.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
.
72
6.5.2
PLASMAUNTERSTUETZTE
SUBSTRATTEMPERIERUNG
.
80
6.5.3
EMPFEHLUNG FUER DIE
HERSTELLUNG
VON
WAL-TARGETS
.
90
6.6
CHEMISCHE
ELEMENTANALYSE
.
91
6.6.1
EDX-UNTERSUCHUNG
.
91
6.6.2
XPS-UNTERSUCHUNG
.
92
6.7
ROENTGENOGRAFISCHE
PHASENANALYSE
.
101
7
HERSTELLUNG
STRUKTURIERTER
LOTWERKSTOFFSCHICHTEN
.
108
7.1
MASKIERUNGSTECHNIK
.
108
7.2
WEISSLICHTINTERFEROMETRIE
.
108
7.2.1
LIFT
OFF-MASKEN
.
109
7.2.2
KONTAKTMASKEN
.
112
7.3
ABBILDEVERHALTEN
STRUKTURIERTER
LOTWERKSTOFFSCHICHTEN
.
113
7.3.1
LIFT
OFF-MASKEN
.
113
7.3.2
KONTAKTMASKEN
.
117
7.4
BEWERTUNG
DER
MASKENKONZEPTE
.
120
8
UNTERSUCHUNG
DES
FUEGE
UND
AUFSCHMELZVERHALTENS
.
123
8.1
WAERMEQUELLE
HEIZELEMENT
.
123
8.2
SCHERFESTIGKEIT
.
129
8.3
WAERMEQUELLE
ELEKTRONENSTRAHL
.
131
9
ZUSAMMENFASSUNG.
_
.
.
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