Ein Beitrag zur Entwicklung von winkelauflösenden Streulichtsensoren für die Oberflächencharakterisierung:
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2000
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
7
2
STAND
DER
KENNTNISSE
9
2.1
STREULICHTTHEORIEN
.
9
2.2
STREULICHTMEIGERAETE,
STREULICHTSENSOREN
.
11
2.3
STANDARDS
.
15
3
ZIELSETZUNG
DER
ARBEIT
17
4
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
19
4.1
BESCHREIBUNG
VON
OBERFLAECHENTOPOGRAPHIEN
DURCH
KENNGROESSEN
.
19
4.2
RADIOMETRISCHES
ERFASSEN
DER
LICHTSTREUUNG
.
26
4.3
MODELLIERUNG
DER
LICHTSTREUUNG
AN
GLATTEN
OBERFLAECHEN
.
30
4.4
MODELLIERUNG
DER
LICHTSTREUUNG
AN
PARTIKELN
.
33
4.5
ANALYSE
DER
LICHTSTREUUNG
DURCH
MUSTERERKENNUNG
.
37
4.5.1
STATISTISCHE
MOMENTE
ALS
MERKMALE
DER
STREULICHTVERTEILUNG
.
38
4.5.2
ZIRKULARE
MOMENTE
ALS
MERKMALE
DER
STREULICHTVERTEILUNG
.
38
4.5.3
MODELLBASIERTE
MERKMALE
DER
STREULICHTVERTEILUNG
.
40
4.5.4
MERKMALSGEWINNUNG
DURCH
SPLINEAPPROXIMATION
.
42
5
ENTWICKLUNG
ZWEIER
WINKELAUFLOESENDER
STREULICHTSENSOREN
46
5.1
ANFORDERUNGEN
UND
KONZEPTION
.
46
5.2
ALLGEMEINE
DETEKTOREIGENSCHAFTEN
.
47
5.3
FASEROPTISCHER
STREULICHTSENSOR
.
50
5.3.1
AUFBAU
.
50
5.3.2
KOPPLUNG
WELLENLEITER-DETEKTOR
.
52
INHALTSVERZEICHNIS
6
5.3.3
RADIOMETRISCHES
MODELL
.
55
5.3.4
MODELL
DER
WINKEL
UND
ORTSFREQUENZAUFLOESUNG
.
56
5.3.5
KALIBRIERUNG
.
57
5.3.6
THEORETISCHE
BETRACHTUNGEN
ZU
DEN
EIGENSCHAFTEN
DES
FASEROPTISCHEN
SENSORS
.
59
5.4
PLANARER
STREULICHTSENSOR
.
63
5.4.1
AUFBAU
.
63
5.4.2
RADIOMETRISCHES
MODELL
.
65
5.4.3
MODELL
DER
WINKEL
UND
ORTSFREQUENZAUFLOESUNG
.
68
5.4.4
KALIBRIERUNG
UND
KORREKTURVERFAHREN
.
70
5.4.5
THEORETISCHE
BETRACHTUNGEN
ZU
DEN
EIGENSCHAFTEN
DES
EBENEN
STREU
LICHTSENSORS
.
72
6
MESSAUFBAU
76
6.1
RASTERKRAFTMIKROSKOP
.
77
6.2
GERAETESTEUERUNG
.
79
7
EXPERIMENTE
82
7.1
KALIBRIERUNG
DES
FASEROPTISCHEN
STREULICHTSENSORS
.
82
7.2
KALIBRIERUNG
DES
PLANAREN
STREULICHTSENSORS
.
88
7.3
VERGLEICH
VON
TOPOGRAPHIE
UND
STREULICHTMESSUNGEN
AN
GLATTEN
OBERFLAECHEN
93
7.4
RASTERSCANS
ZUR
DETEKTION
VON
PARTIKELN
.
97
7.5
EXPERIMENTELLER
VERGLEICH
VON
STREULICHTMERKMALEN
.
101
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
107
LITERATURVERZEICHNIS
110
SYMBOLVERZEICHNIS
117
A
KLASSIFIKATIONSVERFAHREN:
DISKRIMINANZANALYSE
122
B
VERWENDETE
PROBEN
125
C
MERKMALSKURVEN
126 |
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