Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen: Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Microfilm Book |
| Language: | German |
| Published: |
1999
|
| Edition: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Subjects: | |
| Physical Description: | [6], 185 Bl. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013938970 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20030123 | ||
| 007 | he|bmb024bbcu | ||
| 008 | 010925s1999 gw ad|| bm||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 959097414 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)247797796 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013938970 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Klipp, Andreas |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen |b Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten |c vorgelegt von Andreas Klipp |
| 250 | |a [Mikrofiche-Ausg.] | ||
| 264 | 1 | |c 1999 | |
| 300 | |a [6], 185 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b h |2 rdamedia | ||
| 338 | |b he |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Bielefeld, Univ., Diss. | ||
| 533 | |a Mikroform-Ausgabe |n Mikrofiche-Ausg.: |e 2 Mikrofiches : 24x | ||
| 650 | 4 | |a Siliciumverbindungen - Cyclopentadienylgruppe - Ausgangsmaterial - MOCVD-Verfahren - Mikroform | |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumverbindungen |0 (DE-588)4124194-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikroform |0 (DE-588)4039216-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Cyclopentadienylgruppe |0 (DE-588)4148584-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumverbindungen |0 (DE-588)4124194-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Cyclopentadienylgruppe |0 (DE-588)4148584-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Mikroform |0 (DE-588)4039216-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Reproduktion von |a Klipp, Andreas |t Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen |d 1999 |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009538962 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804128785879007232 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Klipp, Andreas |
| author_facet | Klipp, Andreas |
| author_role | aut |
| author_sort | Klipp, Andreas |
| author_variant | a k ak |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013938970 |
| ctrlnum | (OCoLC)247797796 (DE-599)BVBBV013938970 |
| edition | [Mikrofiche-Ausg.] |
| format | Thesis Microfilm Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01893nam a2200469 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013938970</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20030123 </controlfield><controlfield tag="007">he|bmb024bbcu</controlfield><controlfield tag="008">010925s1999 gw ad|| bm||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">959097414</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)247797796</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013938970</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Klipp, Andreas</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen</subfield><subfield code="b">Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Andreas Klipp</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[Mikrofiche-Ausg.]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1999</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[6], 185 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">h</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">he</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Bielefeld, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="533" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Mikroform-Ausgabe</subfield><subfield code="n">Mikrofiche-Ausg.:</subfield><subfield code="e">2 Mikrofiches : 24x</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Siliciumverbindungen - Cyclopentadienylgruppe - Ausgangsmaterial - MOCVD-Verfahren - Mikroform</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4124194-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroform</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039216-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cyclopentadienylgruppe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148584-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4124194-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Cyclopentadienylgruppe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148584-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Mikroform</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039216-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Reproduktion von</subfield><subfield code="a">Klipp, Andreas</subfield><subfield code="t">Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen</subfield><subfield code="d">1999</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009538962</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013938970 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:54:46Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009538962 |
| oclc_num | 247797796 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-188 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-188 |
| physical | [6], 185 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1999 |
| publishDateSearch | 1999 |
| publishDateSort | 1999 |
| record_format | marc |
| spelling | Klipp, Andreas Verfasser aut Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten vorgelegt von Andreas Klipp [Mikrofiche-Ausg.] 1999 [6], 185 Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent h rdamedia he rdacarrier Bielefeld, Univ., Diss. Mikroform-Ausgabe Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x Siliciumverbindungen - Cyclopentadienylgruppe - Ausgangsmaterial - MOCVD-Verfahren - Mikroform Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 gnd rswk-swf Mikroform (DE-588)4039216-8 gnd rswk-swf Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 gnd rswk-swf Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd rswk-swf MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 s Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 s Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 s MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Mikroform (DE-588)4039216-8 s DE-604 Reproduktion von Klipp, Andreas Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen 1999 |
| spellingShingle | Klipp, Andreas Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten Siliciumverbindungen - Cyclopentadienylgruppe - Ausgangsmaterial - MOCVD-Verfahren - Mikroform Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 gnd Mikroform (DE-588)4039216-8 gnd Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4124194-0 (DE-588)4039216-8 (DE-588)4148584-1 (DE-588)4143518-7 (DE-588)4314628-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten |
| title_auth | Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten |
| title_exact_search | Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten |
| title_full | Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten vorgelegt von Andreas Klipp |
| title_fullStr | Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten vorgelegt von Andreas Klipp |
| title_full_unstemmed | Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten vorgelegt von Andreas Klipp |
| title_short | Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen |
| title_sort | cyclopentadienylsubstituierte siliciumverbindungen precursor zur chemischen gasphasenabscheidung dunner siliciumschichten |
| title_sub | Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten |
| topic | Siliciumverbindungen - Cyclopentadienylgruppe - Ausgangsmaterial - MOCVD-Verfahren - Mikroform Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 gnd Mikroform (DE-588)4039216-8 gnd Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd |
| topic_facet | Siliciumverbindungen - Cyclopentadienylgruppe - Ausgangsmaterial - MOCVD-Verfahren - Mikroform Siliciumverbindungen Mikroform Cyclopentadienylgruppe Ausgangsmaterial MOCVD-Verfahren Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT klippandreas cyclopentadienylsubstituiertesiliciumverbindungenprecursorzurchemischengasphasenabscheidungdunnersiliciumschichten |