Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Series: | Berichte aus der Halbleitertechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 2001 |
| Physical Description: | III, 225 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 382659407X |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013927019 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20020131 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 010918s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 962366382 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 382659407X |9 3-8265-9407-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)76301418 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013927019 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-703 | ||
| 100 | 1 | |a Kunze, Thomas |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit |c Thomas Kunze |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2001 | |
| 300 | |a III, 225 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Halbleitertechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 2001 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünnschichtsolarzelle |0 (DE-588)4150833-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Substrat |g Mikroelektronik |0 (DE-588)4229622-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Grafit |0 (DE-588)4158067-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Rekristallisation |0 (DE-588)4177655-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Dünnschichtsolarzelle |0 (DE-588)4150833-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Substrat |g Mikroelektronik |0 (DE-588)4229622-5 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Grafit |0 (DE-588)4158067-9 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Rekristallisation |0 (DE-588)4177655-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009530582&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009530582 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1808046086832521216 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
UND
FORSCHUNGSASPEKTE
DER
PHOTOVOLTAIK
4
2.1
GRUNDLAGEN
DER
SOLARZELLE
.
4
2.1.1
FUNKTIONSPRINZIP
UND
GRUNDBEGRIFFE
.
4
2.1.2
VERLUSTMECHANISMEN
UND
WIRKUNGSGRADSTEIGEMDE
MASSNAHMEN
.
6
2.2
SOLARZELLENTYPEN
.
8
2.3
POLYKRISTALLINE
SILIZIUM-DUENNSCHICHTSOLARZELLEN
.
11
2.3.1
EINFLUSS
DER
KOMGRENZEN
.
12
3
PHYSIKALISCHE
UND
TECHNOLOGISCHE
GRUNDLAGEN
DES
SILIZIUMS
15
3.1
SILIZIUM-ABSCHEIDEVERFAHREN
.
15
3.1.1
SILIZIUM-ABSCHEIDUNG
MITTELS
CVD
.
15
3.1.1.1
LPCVD
VON
POLY-SILIZIUM
.
16
3.1.1.2
GASPHASENEPITAXIE
.
17
3.1.2
FLUESSIGPHASENEPITAXIE
.
17
3.2
WACHSTUMSMECHANISMEN
.
19
3.2.1
MECHANISMEN
DER
SCHICHTABSCHEIDUNG
.
19
3.2.1.1
CVD
.
19
3.2.1.2
FLUESSIGPHASENEPITAXIE
.
21
3.2.2
KRISTALLDEFEKTE
.
23
3.2.3
REKRISTALLISATION
.
26
3.2.3.1
FESTPHASENREKRISTALLISATION
.
27
3.2.3.2
FLUESSIGPHASENREKRISTALLISATION
.
27
3.2.4
ERSTARREN
VON
FLUESSIGEM
SILIZIUM
.
28
3.2.4.1
KEIMBILDUNG
.
28
3.2.4.2
KRISTALLWACHSTUM
.
31
3.2.4.3
KRISTALLISATIONSFRONT
UND
KOMGRENZENENTSTEHUNG
.
33
3.2.4.4
VERUNREINIGUNG
DURCH
KOHLENSTOFF.
.
37
3.3
HALBLEITERPHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
.
39
3.3.1
METALL-HALBLEITER-KONTAKT
.
39
3.3.1.1
IDEALER
METALL-HALBLEITER-KONTAKT
.
40
3.3.1.2
GRENZFLAECHENEFFEKTE
.
41
3.3.1.3
KAPAZITAET
DES
METALL-HALBLEITER-KONTAKTES
.
44
3.3.1.4
STROMFLUSSMODELLE
.
44
3.3.2
REKOMBINATION
UND
GENERATION
.
47
3.3.2.1
LADUNGSTRAEGERLEBENSDAUER
.
48
3.3.2.2
REKOMBINATION
.
48
3.3.2.3
GENERATION
.
52
4
VERWENDETE
MEB
UND
ANALYSEVERFAHREN
55
4.1
VERFAHREN
ZUR
STRUKTURELLEN
ANALYSE
.
55
4.1.1
SECCO-AETZUNG
.
55
4.1.2
ELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
55
4.1.2.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
56
4.1.2.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
57
4.1.3
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
58
4.2
VERFAHREN
ZUR
ELEMENTSPEZIFISCHEN
ANALYSE
.
59
4.2.1
ENERGIEDISPERSIVE
ROENTGENANALYSE
(EDX)
.
59
4.2.2
SEKUNDAERIONENMASSENSPEKTROSKOPIE
(SIMS)
.
61
4.3
VERFAHREN
ZUR
ELEKTRISCHEN
ANALYSE
.
62
4.3.1
SCHOTTKY-KONTAKTE
.
62
4.3.2
LU-MESSUNGEN
.
63
4.3.3
CU-MESSUNGEN
.
66
4.3.4
THERMOELEKTRISCHER
EFFEKT
.
67
4.3.5
ELEKTRONENSTRAHLINDUZIERTER
STROM
(EBIC)
.
68
4.3.6
DEEP-LEVEL
TRANSIENT
SPECTROSCOPY
(DLTS)
.
69
4.3.7
TRANSIENT
DER
PHOTOLEITFAEHIGKEIT
(PCD)
.
71
5
ABSCHEIDUNG
DUENNER
SILIZIUMSCHICHTEN
AUF
GRAPHITSUBSTRATEN
75
5.1
GRAPHIT
ALS
SUBSTRAT
.
75
5.2
SILIZIUM-ABSCHEIDUNG
.
78
5.2.1
LPCVD
AUS
SILAN
.
78
5.2.2
PECVD
AUS
TRICHLORSILAN
.
81
5.3
EINBRINGEN
EINER
DOTIERUNG
.
82
6
ELEKTRONENSTRAHLREKRISTALLISATION
83
6.1
REKRISTALLISATION
VON
SILIZIUM
.
83
6.1.1
ZONENSCHMELZVERFAHREN
.
83
6.1.2
PRINZIP
DER
ELEKTRONENSTRAHLREKRISTALLISATION
.
84
6.1.2.1
ENERGIEDEPOSITION
.
85
6.1.2.2
TEMPERATURVERTEILUNG
.
86
6.2
AUFBAU
DER
ELEKTRONENSTRAHLREKRISTALLISATIONSANLAGE
.
87
6.2.1
LINIENELEKTRONENSTRAHLQUELLE
.
88
6.2.1.1
RAUMLADUNGSBEGRENZTE
ELEKTRONENEMISSION
.
88
6.2.2
JUSTAGE
DER
KATHODE
.
89
6.2.3
STRAHLPROFIL
.
91
6.2.3.1
STRAHLPROFIL-MESSUNG
.
91
6.2.3.2
FORMEN
DES
STRAHLPROFILS
.
95
6.2.4
SUBSTRATHEIZUNG
.
96
6.3
BESCHREIBUNG
DES
REKRISTALLISATIONSPROZESSES
.
98
6.3.1
PROZESSDURCHFUEHRUNG
.
98
6.3.2
AUFSCHMELZVERHALTEN
.
98
7
CHARAKTERISIERUNG
REKRISTALLISIERTER
SILIZIUMKEIMSCHICHTEN
AUF
GRAPHITSUBSTRATEN
100
7.1
SCHICHTMORPHOLOGIE
.
100
7.1.1
KOMSTRUKTUR
.
100
7.1.2
KRISTALLORIENTIERUNG
.
103
II
7.1.3
OBERFLAECHENMORPHOLOGIE
.
105
7.1.4
SILIZIUMKARBID-AUSSCHEIDUNGEN
.
106
7.1.5
ENTSTEHUNG
DER
REKRISTALLISIERTEN
OBERFLAECHE
.
113
7.1.6
KRITISCHE
EINFLUSSFAKTOREN
.
118
7.2
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
123
7.2.1
QUALITAET
DER
SCHOTTKY-KONTAKTE
.
123
7.2.2
HJ-CHARAKTERISTIK
.
123
7.2.3
DOTIERUNG
.
126
7.2.4
TIEFE
STOERSTELLEN
.
129
7.2.5
FREMDATOME
.
130
7.2.6
ELEKTRISCHE
AKTIVITAET
.
131
7.2.7
MINORITAETSLADUNGSTRAEGERLEBENSDAUER
.
132
8
HOMOEPITAXIE
AUF
REKRISTALLISIERTEN
SILIZIUMKEIMSCHICHTEN
134
8.1
REINIGUNG
DER
OBERFLAECHE
.
134
8.2
FLUESSIGPHASENEPITAXIE
.
136
8.2.1
LPE-DURCHFUEHRUNG
.
136
8.2.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
LPE-SCHICHTEN
.
138
8.3
GASPHASENEPITAXIE
.
142
8.3.1
VPE-DURCHFUEHRUNG
.
142
8.3.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
VPE-SCHICHTEN
.
143
8.4
VERGLEICH
DER
ERGEBNISSE
FUER
LPE
UND
VPE
.
146
9
PROZESSIERUNG
ZU
SOLARZELLEN
149
9.1
REALISIERUNG
DES
EMITTERS
.
149
9.2
KONTAKTIERUNG
UND
PASSIVIERUNG
.
151
9.3
INTERPRETATION
DER
ERGEBNISSE
.
152
10
ELEKTRONENSTRAHLREKRISTALLISATION
VON
SILIZIUM
AUF
GLAS
154
10.1
VERWENDUNG
VON
GLASSUBSTRATEN
FUER
SOLARZELLEN
.
154
10.2
ANWENDUNG
DER
ELEKTRONENSTRAHLREKRISTALLISATION
AUF
GLASSUBSTRATEN
.
155
11
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
159
ABBILDUNGEN
164
TABELLEN
214
LITERATURVERZEICHNIS
217
VEROEFFENTLICHUNGEN
223
DANKSAGUNG
224
LEBENSLAUF
225
III |
| any_adam_object | 1 |
| author | Kunze, Thomas |
| author_facet | Kunze, Thomas |
| author_role | aut |
| author_sort | Kunze, Thomas |
| author_variant | t k tk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013927019 |
| ctrlnum | (OCoLC)76301418 (DE-599)BVBBV013927019 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a22000008c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013927019</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20020131</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">010918s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">962366382</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">382659407X</subfield><subfield code="9">3-8265-9407-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76301418</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013927019</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kunze, Thomas</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit</subfield><subfield code="c">Thomas Kunze</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 225 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Halbleitertechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150833-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Substrat</subfield><subfield code="g">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229622-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Grafit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158067-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rekristallisation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177655-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Dünnschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150833-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Substrat</subfield><subfield code="g">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229622-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Grafit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158067-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Rekristallisation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177655-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009530582&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009530582</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013927019 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-22T00:38:33Z |
| institution | BVB |
| isbn | 382659407X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009530582 |
| oclc_num | 76301418 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 |
| owner_facet | DE-703 |
| physical | III, 225 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| spelling | Kunze, Thomas Verfasser aut Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit Thomas Kunze Aachen Shaker 2001 III, 225 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Halbleitertechnik Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 2001 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 gnd rswk-swf Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd rswk-swf Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd rswk-swf Grafit (DE-588)4158067-9 gnd rswk-swf Rekristallisation (DE-588)4177655-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Polykristall (DE-588)4188261-1 s Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 s Grafit (DE-588)4158067-9 s Rekristallisation (DE-588)4177655-0 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009530582&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Kunze, Thomas Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd Grafit (DE-588)4158067-9 gnd Rekristallisation (DE-588)4177655-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4150833-6 (DE-588)4188261-1 (DE-588)4229622-5 (DE-588)4158067-9 (DE-588)4177655-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit |
| title_auth | Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit |
| title_exact_search | Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit |
| title_full | Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit Thomas Kunze |
| title_fullStr | Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit Thomas Kunze |
| title_full_unstemmed | Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit Thomas Kunze |
| title_short | Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit |
| title_sort | elektronenstrahlkristallisierte silizium dunnschichtsolarzellen auf graphit |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd Grafit (DE-588)4158067-9 gnd Rekristallisation (DE-588)4177655-0 gnd |
| topic_facet | Silicium Dünnschichtsolarzelle Polykristall Substrat Mikroelektronik Grafit Rekristallisation Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009530582&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT kunzethomas elektronenstrahlkristallisiertesiliziumdunnschichtsolarzellenaufgraphit |