Rote oberflächenemittierende Laser: Realisierung und Analyse
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Aachen
Shaker
2001
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INHALTSVERZEICHNIS
ABSTRACT
1
ZUSAMMENFASSUNG
7
VEROEFFENTLICHUNGEN/VORTRAEGE
11
1
EINLEITUNG
13
2
DESIGN
ROTER
VCSEL
19
2.1
BRAGGSPIEGEL
.
20
2.2
VCSEL
.
33
2.2.1
AUFBAU
DER
RESONATORSTRUKTUR
.
34
2.2.2
QUANTENFILME
.
41
2.2.3
EINIGE
EIGENSCHAFTEN
VON
VCSEL
.
44
3
CHARAKTERISIERUNG
DER
EPITAXIE-SCHICHTEN
49
3.1
EPITAXIE
DER
STRUKTUREN
.
50
3.2
AUSWERTUNG
VON
REFLEXIONS-SPEKTREN
.
50
3.3
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
DURCH
SELEKTIVES
ATZEN
.
54
3.4
LUMINESZENZMESSUNG
.
55
3.5
HOMOGENITAETSMESSUNG
.
59
3.6
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
61
3.7
SIMS-MESSUNGEN
.
64
II
INHALTS
VERZEICHNIS
4
BAUTEILPROZESSIERUNG
67
4.1
STROMAPERTUREN
.
67
4.2
PROZESSIERUNG
.
69
4.3
OXIDATIONSAPERTUREN
.
72
5
ANALYSE
DER
BAUTEILEIGENSCHAFTEN
77
5.1
OPTISCHE
AUSGANGSLEISTUNG
UND
SPANNUNGSABFALL
.
78
5.1.1
PULSBETRIEB
.
78
5.1.2
DAUERSTRICH-BETRIEB
(CW)
.
82
5.2
EMISSIONSWELLENLAENGEN
.
85
5.3
MODENSPEKTRUM
.
86
5.3.1
SPEKTREN
UNTER
DER
SCHWELLE
.
86
5.3.2
SPEKTREN
OBERHALB
DER
SCHWELLE
.
90
5.4
ERWAERMUNG
UND
WAERMEABFUHR
.
91
5.5
LINIENBREITE
IM
LASERBETRIEB
.
95
5.6
FERNFELDER
.
97
5.7
POLARISATION
.
99
5.8
VCSEL
MIT
OXIDAPERTUR
.
100
6
DER
UEBERGANG
ZUR
LASEREMISSION
103
6.1
DIE
PI-KENNLINIE
.
103
6.2
ENTWICKLUNG
DES
SPEKTRUMS
.
106
6.3
ENTWICKLUNG
DES
FERNFELDES
.
108
6.4
AUFTRETEN
VON
KOHAERENZEFFEKTEN
.
110
7
SPEKTRALE
VERSTIMMUNG
UND
SCHWELLSTROMDICHTEN
113
7.1
SPEKTRALE
VERSTIMMUNG
.
113
7.2
SCHWELLSTROMDICHTEN
.
115
7.3
ANPASSUNG
MIT
VERSTAERKUNGSMODELL
.
118
8
LINIENBREITEN
UND
OPTISCHE
GUETE
122
8.1
GRUNDLAGEN
.
122
8.2
MESSUNG
VON
LINIENBREITEN
UNTER
DER
SCHWELLE
.
.
.
124
8.2.1
EINFLUSS
DES
STROMES
.
127
8.2.2
EINFLUSS
DER
VERSTIMMUNG
.
129
8.2.3
AUSWERTUNG
DER
LINIENBREITEN-MESSUNG
.
.
130
9
UNTERSUCHUNG
DER
BAUTEILLEBENSDAUER
132
A
FORMELSAMMLUNG
138
A.L
REFLEKTIVITAET
UND
EFFEKTIVE
EINDRINGTIEFE
EINES
DBR
138
A.2
LASERSCHWELLBEDINGUNG
.
139
A.3
PHOTONENLEBENSDAUER,
OPTISCHE
GUETE
.
139
A.4
LINIENBREITE
IM
LASERBETRIEB
.
140
B
MATERIALPARAMETER
141
B.L
BRECHUNGSINDIZES
(AL^GAI-JJO.SINO.SP
.
141
B.2
BRECHUNGSINDIZES
AL^GAI-^AS
.
142
C
TRANSFERMATRIX-METHODE
143
D
EPITAXIESTRUKTUR
147
E
PROZESSPROTOKOLL
148
LITERATURVERZEICHNIS
151 |
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