Untersuchungen zur Reaktionskinetik verschiedener Silizium-Precursoren bei hohen Temperaturen:
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| Published: |
Aachen
Shaker
2001
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| adam_text | BERICHTE AUS DER VERFAHRENSTECHNIK ANDREAS KUNZ UNTERSUCHUNGEN ZUR
REAKTIONSKINETIK VERSCHIEDENER SILIZIUM-PRECURSOREN BEI HOHEN
TEMPERATUREN SHAKER VERLAG AACHEN 2001 INHALTSVERZEICHNIS FORMELZEICHEN
1 1 EINLEITUNG 3 2 GRUNDLAGEN 6 2.1 KINETIK HOMOGENER GASREAKTIONEN 6
2.2 STOSSWELLENTECHNIK 13 2.3 ATOM-RESONANZ-ABSORPTIONS-SPEKTROSKOPIE
(ARAS) 15 2.4 UV-LASER-PHOTOLYSE 16 2.5 ERMITTLUNG KINETISCHER PARAMETER
18 3 VERSUCHSAUFBAU UND MESSTECHNIK 21 3.1 STOSSWELLENANLAGE UND
PHOTOLYSE-LASER 21 3.2 ARAS-DIAGNOSTIK UND KALIBRIERUNG 24 4 ERGEBNISSE,
INTERPRETATION UND DISKUSSION 30 4.1 THERMISCHER ZERFALL VON SICL, UND
SIHCL 3 30 4.1.1 MESSUNGEN VON CL- UND SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN SICLJ /
AR - MISCHUNGEN 32 4.1.2 MESSUNGEN VON CL-, H- UND
SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN SIHCL 3 / AR - MISCHUNGEN 38 4.2 PHOTOLYSE VON
THERMISCH ANGEREGTEM SUI4, SI 2 H6 UND SICLI 46 4.2.1 MESSUNGEN VON
SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN SILII / AR - MISCHUNGEN 47 4.2.2 MESSUNGEN VON
SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN SI2H 6 / AR - MISCHUNGEN 53 I 4.2.3 MESSUNGEN
VON CL- UND SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN SICU / AR - MISCHUNGEN 59 4.3
BIMOLEKULARE REAKTIONEN VON H-ATOMEN MIT SIELI UND SHICI3 .... 67 4.3.1
UNTERSUCHUNGEN ZUR REAKTION H + SIH 4 MESSUNGEN VON H- UND
SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN C2H5I / SIH 4 / AR - MISCHUNGEN 69 4.3.2
UNTERSUCHUNG ZUR REAKTION H -1- SUJCI3 MESSUNGEN VON
H-ATOMKONZENTRATIONEN IN C2H5I / SIHCL3 / AR - MISCHUNGEN 74 4.4
BIMOLEKULARE REAKTIONEN VON SI-ATOMEN MIT HCL, SICL 2 UND SICU. . . 78
4.4.1 UNTERSUCHUNGEN ZUR REAKTION SI + HCL MESSUNGEN VON SI- UND
CL-ATOMKONZENTRATIONEN IN SI 2 H6 / HCL / AR - UND SIH, / HCL / AR -
MISCHUNGEN 78 4.4.2 UNTERSUCHUNGEN ZUR REAKTION SI + SICL 2 MESSUNGEN
VON SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN SI 2 HE / SIHCL3 / AR - MISCHUNGEN 87
4.4.3 UNTERSUCHUNGEN ZUR REAKTION SI + SICL. MESSUNGEN VON SI- UND
CL-ATOMKONZENTRATIONEN IN SI 2 H 6 / SICLJ /AR - MISCHUNGEN 91 4.5
UNTERSUCHUNGEN ZUR KINETIK VON SI- ATOMREAKTIONEN MIT METHAN UND METHYL
IM HINBLICK AUF DIE BILDUNG VON SIC 94 4.5.1 MESSUNGEN VON
SI-ATOMKONZENTRATIONEN IN SI 2 HA / CH4 / AR - UND SIHJ / CH 4 /AR -
MISCHUNGEN 95 4.5.2 MESSUNGEN VON SI- UND H-ATOMKONZENTRATIONEN IN SI 2
H6 BZW. SIH4 / CH3CI BZW. CH3I / AR - MISCHUNGEN 96 4.5.3 INTERPRETATION
DER ERGEBNISSE 101 5 ZUSAMMENFASSUNG 105 LITERATURVERZEICHNIS 108 A
ANHANG 119 A.1 TECHNISCHE DETAILS 119 A.2 THERMODYNAMISCHE DATEN 123 A.3
LENNARD-JONES-PARAMETER 124 A.4 RRKM-RECHNUNGEN 125 A.5
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