Der Einsatz von bororganischen Precursoren zum Gasborieren und Plasmaborieren:
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Aachen
Shaker
2001
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| Series: | Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen
6 |
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I
NHALTSVERZEICHNIS
I
NHALTSVERZEICHNIS
.
I
1
E
INLEITUNG
.
1
2
K
ENNTNISSTAND
.
5
2.1
PLASMEN
5
2.1.1
ERZEUGUNG
5
2.1.2
GASENTLADUNG
5
2.1.3
ANWENDUNGENINDEROBERFLAECHENTECHNIK
7
2.2
BOR
IN
DER
EISEN-METALLKUNDE
9
2.2.1
DAS
ZWEISTOFFSYSTEM
FE-B
9
2.2.2
EIGENSCHAFTEN
VON
EISENBORIDEN
13
2.2.3
BORIERVERFAHREN
15
2.2.3.1
PULVERPACKBORIEREN
15
2.2.3.2
GASBORIEREN
21
2.2.3.3
PLASMABORIEREN
27
2.2.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
BEKANNTEN
BORIERVERFAHREN
30
2.2.4
DER
EINSATZ
VON
BORORGANISCHEN
PRECURSOREN
FUER
ABSCHEIDEPROZESSE
AUS
DER
GASPHASE
31
3
E
XPERIMENTELLES
.
35
3.1
SUBSTRATWERKSTOFFE
35
3.2
BORORGANISCHE
PRECURSOREN
36
3.3
THERMODYNAMISCHE
SIMULATION
38
3.4
GASBORIEREN
38
3.4.1
ANLAGE
38
3.4.2
PROZESSFUEHRUNG
40
3.5
PLASMABORIEREN
41
3.5.1
ANLAGE
41
3.5.2
PROZESSFUEHRUNG
42
3.6
PULVERPACKBORIEREN
43
3.7
BARRIERESCHICHTEN
44
3.7.1
SILIZIUM-SCHICHTEN
44
3.7.2
NICKELSCHICHTEN
45
3.8
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
46
3.8.1
GLIMMENTLADUNGSSPEKTROSKOPIE
46
3.8.2
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
47
3.8.3
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
48
3.8.4
METALLOGRAPHISCHE
UNTERSUCHUNGEN
48
3.8.5
ROENTGENDIFFRAKTOMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
49
3.8.6
RAUHEIT
49
3.8.7
MIKROHAERTE
UND
ULTRAMIKROHAERTESTS
49
3.8.8
STIFT-SCHEIBE-TEST
49
4
E
RGEBNISSE
.
51
4.1
IN-SITU
MASSENSPEKTROMETRIE
51
4.1.1
UNTERSUCHUNGEN
BEIM
GASBORIEREN
51
4.1.2
UNTERSUCHUNGEN
BEIM
PLASMABORIEREN
53
4.2
THERMODYNAMISCHE
SIMULATION
DER
EISENBORIDBILDUNG
56
4.2.1
SYSTEM
FE-N-C-B-H
56
4.2.2
SYSTEM
FE-O-C-B-H
57
4.3
GASBORIEREN
MIT
ORGANISCHEN
PRECURSOREN
59
4.3.1
N-PYRROLIDINYLDIETHYLBORAN
60
4.3.2
TRIETHYLBORANAMIN
64
4.3.3
EINFLUSS
DER
PROZESSPARAMETER
BEI
VERWENDUNG
VON
BORANTRIETHYLAMIN
65
4.3.3.1
DRUCK
65
4.3.3.2
PRECURSORENGEHALT
65
4.3.3.3
WASSERSTOFFGEHALT
67
4.3.3.4
ZEIT
70
4.3.4
EINFLUSS
DER
PROZESSPARAMETER
BEI
VERWENDUNG
VON
BORANDIETHYLAMIN
72
4.3.4.1
PRECURSORENGEHALT
72
4.3.4.2
WASSERSTOFFGEHALT
73
II
4.3.4.3
ZEIT
76
4.4
PLASMABORIEREN
79
4.4.1
EINFLUSS
DER
PROZESSPARAMETER
BEI
VERWENDUNG
VON
TRIETHYLBORAN
81
4.4.1.1
GASZUSAMMENSETZUNG
81
4.4.1.2
ZEIT
82
4.4.2
EINFLUSS
DER
PROZESSPARAMETER
BEI
VERWENDUNG
VON
TRIMETHYLBORAT
83
4.4.2.1
DRUCK
83
4.4.2.2
TEMPERATUR
87
4.4.2.3
PRECURSORENGEHALT
90
4.4.2.4
WASSERSTOFFGEHALT
92
4.4.2.5
ZEIT
93
4.4.2.6
PLASMASPANNUNG
96
4.5
KOMBINIERTE
VERFAHREN
98
4.5.1
PULVERPACK-UND
PLASMABORIEREN
98
4.5.2
PULVERPACKBORIEREN
UND
AUFKOHLEN
99
4.5.3
BARRIERESCHICHTEN
AUS
SILIZIUM
BEIM
PLASMABORIEREN
MIT
TRIMETHYLBORAT
101
4.5.4
BARRIERESCHICHTEN
AUS
NICKEL
BEIM
PLASMABORIEREN
MIT
TRIMETHYLBORAT
104
4.5.4.1
EINFLUSS
DER
NICKEL-SCHICHTDICKE
106
4.5.4.2
EINFLUSS
DER
PROZESSZEIT
109
4.5.4.3
VARIATION
DES
NICKEL-ABSCHEIDEVERFAHRENS
113
4.6
MIKROHAERTE
UND
ULTRAMIKROHAERTE
114
4.6.1
GASBORIERTE
PROBEN
114
4.6.2
PLASMABORIERTE
PROBEN
115
4.6.3
PLASMABORIERTE
SUBSTRATE
MIT
BARRIERESCHICHTEN
116
4.7
STIFT-SCHEIBE-TEST
118
4.7.1
GASBORIERTE
PROBEN
118
4.7.2
PLASMABORIERTE
PROBEN
121
4.7.3
PLASMABORIERTE
SUBSTRATE
MIT
BARRIERESCHICHTEN
126
III
5
D
ISKUSSION
.
129
5.1
EINFLUSS
DER
VERFAHRENSPARAMETER
AUF
DIE
BORIDBILDUNG
BEIM
GASBORIEREN
129
5.1.1
PRECURSORENWAHL
129
5.1.2
PROZESSDRUCK
130
5.1.3
GASZUSAMMENSETZUNG
132
5.1.4
PROZESSZEIT
134
5.2
EINFLUSS
DER
VERFAHRENSPARAMETER
AUF
DIE
BORIDBILDUNG
BEIM
PLASMABORIEREN
134
5.2.1
PRECURSORENWAHL
135
5.2.2
PROZESSDRUCK
137
5.2.3
TEMPERATUR
139
5.2.4
GASZUSAMMENSETZUNG
140
5.2.5
PROZESSZEIT
141
5.2.6
PLASMASPANNUNG
142
5.3
PARAMETEREINFLUSS
BEIM
PLASMABORIEREN
MIT
BARRIERESCHICHTEN
144
5.3.1
BARRIERESCHICHT-ABSCHEIDEVERFAHREN
144
5.3.2
NICKEL-SCHICHTDICKE
145
5.3.3
PROZESSZEIT
146
5.4
MORPHOLOGIE
UND
ZUSAMMENSETZUNG
DER
BORIDSCHICHTEN
147
5.4.1
GAS
UND
PLASMABORIEREN
147
5.4.2
PLASMABORIEREN
MIT
BARRIERESCHICHTEN
154
5.4.2.1
SILIZIUM-BARRIERESCHICHTEN
154
5.4.2.2
NICKEL-BARRIERESCHICHTEN
154
5.5
EIGENSCHAFTEN
DER
BORIDSCHICHTEN
157
5.5.1
MIKROHAERTE
UND
UNIVERSALHAERTE
157
5.5.2
TRIBOLOGISCHES
VERHALTEN
159
5.6
BEWERTUNG
DER
BORIERERGEBNISSE
UNTER
EINSATZ
BORORGANISCHER
PRECURSOREN
162
6
Z
USAMMENFASSUNG
.
165
7
L
ITERATURVERZEICHNIS
.
167
IV |
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| series | Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen |
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| spelling | Küper, Arnim Verfasser aut Der Einsatz von bororganischen Precursoren zum Gasborieren und Plasmaborieren Arnim Küper Aachen Shaker 2001 IV, 178 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen 6 Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2001 Gasphase (DE-588)4156038-3 gnd rswk-swf Niederdruckplasma (DE-588)4274388-6 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Werkstoffprüfung (DE-588)4037934-6 gnd rswk-swf Eisenlegierung (DE-588)4014081-7 gnd rswk-swf Bororganische Verbindungen (DE-588)4146359-6 gnd rswk-swf Borieren (DE-588)4146337-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Eisenlegierung (DE-588)4014081-7 s Borieren (DE-588)4146337-7 s Bororganische Verbindungen (DE-588)4146359-6 s Gasphase (DE-588)4156038-3 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Werkstoffprüfung (DE-588)4037934-6 s DE-604 Niederdruckplasma (DE-588)4274388-6 s Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen 6 (DE-604)BV012606454 6 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009461342&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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