Gesputterte, unterstöchiometrische Hartstoffschichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften für die Bearbeitung mit Diamantwerkzeugen:
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| Published: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Series: | Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen
5 |
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| Item Description: | Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2001 |
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I
NHALTSVERZEICHNIS
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
KENNTNISSTAND
.
4
2.1
PVD-BESCHICHTUNG
.
4
2.1.1
UEBERBLICK
UEBER
VERSCHIEDENE
PVD-VERFAHREN
.
5
2.1.2
MAGNETRON-SPUTTERN
.
7
2.2
EINFLUSSGROESSEN
AUF
DIE
EIGENSCHAFTEN
GESPUTTERTER
SCHICHTEN
.
9
2.3
HARTSTOFFE
.
12
2.3.1
DAS
SYSTEM
TI-N
.
14
2.3.2
UNTERSTOECHIOMETRISCHE
NITRID-HARTSTOFFSCHICHTEN
.
15
2.4
DIAMANT
IN
DER
MIKROZERSPANUNG
.
25
2.5
WECHSELWIRKUNG
VON
DIAMANT
MIT
UEBERGANGSMETALLBASIERTEN
WERKSTOFFEN
.
26
2.5.1
WECHSELWIRKUNG
MIT
REINEN
METALLEN
.
26
2.5.2
UEBERSICHT
METALLE
.
27
2.5.3
WECHSELWIRKUNG
MIT
VERBINDUNGEN
.
28
2.5.4
URSACHEN
FUER
MATERIALABHAENGIGKEIT
DER
WECHSELWIRKUNG
.
29
2.6
NICKEL-PHOSPHOR
ALS
DIAMANTBEARBEITBARER
SCHICHTWERKSTOFF
.
32
2.7
ZUSAMMENFASSENDE
BETRACHTUNG
.
34
3
EXPERIMENT
.
36
3.1
SUBSTRATE
UND
PROBENVORBEREITUNG
.
36
3.2
BESCHICHTUNGSPROZESS
.
37
3.3
NACHTRAEGLICHE
IMPLANTATION
.
38
3.4
CHARAKTERISIERUNG
DER
MECHANISCHEN
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
38
3.4.1
KALOTTENSCHLIFF
.
38
3.4.2
VICKERSHAERTEMESSUNG
.
39
3.4.3
RITZTEST
.
39
3.4.4
ULTRAMIKROHAERTEPRUEFUNG
.
39
3.5
BESTIMMUNG
DER
CHEMISCHEN
ZUSAMMENSETZUNG
UND
BINDUNG
.
39
3.5.1
GLIMMENTLADUNGSSPEKTROSKOPIE
.
39
3.5.2
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.
40
3.6
CHARAKTERISIERUNG
DER
STRUKTURELLEN
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
42
3.6.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
42
3.6.2
ROENTGENBEUGUNG
.
43
3.7
BESTIMMUNG
DER
EIGENSPANNUNGEN
.
43
3.8
DIAMANTBEARBEITUNG
DER
SCHICHTEN
.
43
3.9
THERMISCHER
KONTAKTTEST
.
44
I
NHALTSVERZEICHNIS
JJ
4
ERGEBNISSE
.
46
4.1
SCHICHTABSCHEIDUNG
.
46
4.2
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
47
4.2.1
ZUSAMMENSETZUNG
UND
HAERTE
.
47
4.2.2
PHASENANALYSE
.
48
4.2.3
KRISTALLITGROESSEN
.
51
4.2.4
SCHICHTMORPHOLOGIE
.
52
4.2.5
SCHICHTHAFTUNG
.
55
4.2.6
HAFTUNGSVERBESSERUNG
DURCH
ZWISCHENSCHICHTEN
.
56
4.2.7
EIGENSPANNUNGEN
IN
TIN
X
-SCHICHTEN
.
57
4.3
DIAMANTBEARBEITUNG
.
59
4.3.1
ZERSPANVERHALTEN
DER
CRN-,
AIN-,
TIAINYY-SCHICHTEN
.
59
4.3.2
ZERSPANVERHALTEN
DER
TINX-SCHICHTEN
.
59
4.4
CHEMISCHE
BINDUNG
IN
TIN
X
UND
NIP
X
.
62
4.4.1
XPS-ANALYSEN
VON
TIN
X
-SCHICHTEN
.
62
4.4.2
BERECHNUNG
DER
BINDUNG
FUER
TIN
X
.
65
4.4.3
XPS-ANALYSEN
AN
NIP
X
.
69
4.4.4
BERECHUNG
DER
BINDUNG
FUER
NIP
X
.
73
4.5
REAKTIVITAET
MIT
DIAMANT
.
74
4.5.1
ERGEBNISSE
FUER
TINX-SCHICHTEN
.
75
4.5.2
ERGEBNISSE
FUER
NICKEL
UND
DIE
NIP
0
.25-SCHICHT
.
78
4.6
SYNTHESE
VON
NICKELBASIERTEN
SCHICHTSYSTEMEN
.
80
4.6.1
NISI
X
-SCHICHT
.
80
4.6.2
NITI
X
-SCHICHT
.
85
4.7
MIKROSTRUKTURIERUNG
UND
OPTIMIERUNG
EINER
TIN
0
,OA-SCHICHT
.
90
5
DISKUSSION
.
95
5.1
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
95
5.1.1
AIN
X
-SCHICHTEN
.
95
5.1.2
CRNJ-SCHICHTEN
.
95
5.1.3
TIAIN
X
-SCHICHTEN
.
96
5.1.4
TIN
X
-SCHICHTEN
.
97
5.1.5
HAFTUNGSERHOEHUNG
DURCH
ZWISCHENSCHICHTEN
.
100
5.2
CHEMISCHE
BINDUNG
IN
TIN
X
UND
NIP
X
.
102
5.3
REAKTIVITAET
MIT
DIAMANT
.
107
5.4
DIAMANTBEARBEITUNG
.
110
5.5
NICKELBASIERTE
MODELLSCHICHTEN
.
112
5.6
MIKROSTRUKTURIERUNG
UND
OPTIMIERUNG
.
116
I
NHALTSVERZEICHNIS
III
5.7
ANFORDERUNGSPROFIL
DIAMANTBEARBEITBARER
SCHICHTWERKSTOFFE
.
118
6
ZUSAMMENFASSUNG
.
121
7
LITERATUR
.
124 |
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| series | Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen |
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| spelling | Kohlscheen, Jörn Verfasser aut Gesputterte, unterstöchiometrische Hartstoffschichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften für die Bearbeitung mit Diamantwerkzeugen Jörn Kohlscheen Aachen Shaker 2001 III, 135 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen 5 Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2001 Kunststoffverarbeitungswerkzeug (DE-588)4166077-8 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Diamantwerkzeug (DE-588)4231271-1 gnd rswk-swf Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd rswk-swf Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd rswk-swf Feinstbearbeitung (DE-588)4199904-6 gnd rswk-swf Nitride (DE-588)4171929-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Hartstoff (DE-588)4023555-5 s Nitride (DE-588)4171929-3 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s Kunststoffverarbeitungswerkzeug (DE-588)4166077-8 s Beschichten (DE-588)4005996-0 s DE-604 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Feinstbearbeitung (DE-588)4199904-6 s Diamantwerkzeug (DE-588)4231271-1 s Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen 5 (DE-604)BV012606454 5 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009454489&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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