Charakterisierung von sphärischen und zylindrischen Mikrolinsen mit einem Mach-Zehnder-Interferometer:
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I
NHALTSVERZEICHNIS
:
1
EINLEITUNG
.
5
1.1
A
USGANGSSITUATION
.
5
1.2
Z
USAMMENFASSUNG
.
6
1.3
I
NHALTSUEBERSICHT
.
6
2
GRUNDLAGEN
INTERFEROMETRISCHER
VERFAHREN
.
9
2.1
Z
WEISTRAHLINTERFERENZ
.
9
2.2
P
HASE
-
S
HIFTING
-
I
NTERFEROMETRIE
.
11
2.3
W
ELLENABERRATIONEN
.
14
2.4
B
EWERTUNGSFUNKTIONEN
-
PSF
UND
MTF
.
16
3
AUSWAHL
DES
TESTVERFAHRENS
.
19
3.1
P
ARAMETERRAUM
VON
M
IKROLINSEN
.
19
3.1.1
PARAXIALE
PARAMETER
VON
REFRAKTIVEN
UND
DIFFRAKTIVEN
MIKROLINSEN
.
20
3.1.2
PARAMETER
VON
PLANAREN
GRADIENTEN
INDEX
LINSEN
(GRINLINSEN)
.
21
3.2
P
RUFPARAMETER
IN
A
BHAENGIGKEIT
DES
E
INSATZFELDES
.
22
3.3
M
ESSPRINZIP
DER
D
URCHLICHTPRUEFUNG
.
23
3.4
A
USWAHL
DES
S
ENSORS
.
26
3.4.1
SHACK-HARTMANN
WELLENFRONTSENSOR
ODER
INTERFEROMETER
.
26
3.4.2
MACH-ZEHNDER
ODER
SHEARING
INTERFEROMETER
.
28
4
VERSUCHSAUFBAU.
31
4.1
A
UFBAU
DES
I
NTERFERENZMIKROSKOPS
.
32
4.1.1
SCHALTPRINZIP
.
32
4.1.2
LICHTQUELLE,
HELLIGKEITS
UND
BALANCEREGELUNG
.
34
4.1.3
ZEITLICHE
KOHAERENZBESTIMMUNG
DES
HENE-LASERS
.
35
4.1.4
POLARISATIONSERHALTENDE
MONOMODEFASEM
.
37
4.1.5
ABBILDUNGSSTRAHLENGANG
.
38
4.2
N
ULLOPTIK
.
40
4.2.1
NULLOPTIK
-
AUSKORRIGIERTES
MIKROSKOPOBJEKTIV
.
41
4.2.2
DOE
ALS
PHASEN-KONJUGATOR
.
41
4.2.3
ANAMORPHOTISCHE
ENTZERRUNG.
51
5
DEJUSTAGE
-
ABERRATIONEN
VON
ZYLINDERLINSEN
.
53
5.1
D
EJUSTAGEN
BEI
SPHAERISCHEN
UND
Z
YUNDERLINSEN
.
54
5.2
B
ESTIMMUNG
DER
D
EJUSTAGEFUNKTIONALE
.
56
5.2.1
TRANSLATORISCHE
DEJUSTAGEN
.
57
5.2.2
DEJUSTAGEN
DURCH
ROTATION
.
58
5.3
T
EST
DER
D
EJUSTAGEROUTINEN
.
61
5.3.1
SIMULATION
EINER
AXIALEN
VERSCHIEBUNG
ENTLANG
DER
Z-ACHSE
(DEFOKUS)
.
62
5.3.2
SIMULATION
EINER
ROTATION
UM
DIE
Z-ACHSE
.
64
5.4
T
ABELLARISCHE
Z
USAMMENFASSUNG
DER
D
EJUSTAGEN
.
66
6
MESSGROESSEN
UND
MESSMETHODEN
.
67
6.1
B
ELEUCHTUNG
MIT
EINER
EBENEN
W
ELLE
.
68
6.1.1
SCHNITTWEITE,
LINSENGROESSE
UND
NA
.
68
6.1.2
ABSCHAETZUNG
DER
MAXIMALEN
NUMERISCHE
APERTUR
.
71
6.1.3
RUECKSCHLUSS
AUF
DIE
WELLENABERRATIONEN
BEI
PLAN
WELLENBELEUCHTUNG
.
72
6.1.4
VOR
UND
NACHTEILE
BEI
DER
BELEUCHTUNG
MIT
EINER
EBENEN
WELLE
.
72
6.1.5
MESSBEISPIEL:
ZYLINDERLINSEN
MIT
PLANWELLEN-BELEUCHTUNG
.
73
6.2
B
ELEUCHTUNG
MIT
EINER
ANGEPASSTEN
W
ELLENFRONT
.
75
6.2.7
WELLENABERRATIONEN
VON
SPHAERISCHEN
LINSEN
.
76
6.2.2
WELLENABERRATION
EINER
ZYLINDERLINSE
GEMESSEN
AUF
EINEM
ZENTRALSCHNITT.
.81
6.2.3
VERGLEICH
DER
MESSWERTE
FUER
EINE
BELEUCHTUNG
MIT
EINER
EBENEN
WELLE
BZW.
EINER
KUGELWELLE
.
84
6.2.4
ERZEUGUNG
DER
ANGEPASSTEN
WELLENFRONT
MIT
HILFE
EINES
DOE'S
UND
EXPERIMENTELLE
VERIFIKATION
DER
DEJUSTAGETERME
.
89
7
AUSBLICK
.
95
LITERATURVERZEICHNIS
.
99
EIGENE
VEROEFFENTLICHUNGEN
UND
TAGUNGSBEITRAEGE
.
103
DANKSAGUNG
.
105
LEBENSLAUF
.
107
4 |
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