Miniaturisierte korrosionsfeste Gehäuse für Silizium-Drucksensoren:
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|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2001
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]
878 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | XII, 132 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183878089 |
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INHALTSVERZEICHNIS
V
INHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGEN
UND
FORMELZEICHEN
IX
ZUSAMMENFASSUNG
XI
1
EINLEITUNG
1
2
SILIZIUMDRUCKSENSOREN
7
2.1
AUFBAU
.
7
2.2
VERHALTEN
IN
AGGRESSIVER
UMGEBUNG
.
10
2.3
ANFORDERUNGEN
AN
DRUCKSENSOREN
.
12
2.4
ZIELE
DIESER
ARBEIT
.
13
3
GEHAEUSE
FUER
DRUCKSENSOREN
15
3.1
BESCHICHTUNG
.
16
3.2
VERGUET.
.
17
3.3
SEMIPERMEABLE
MEMBRANEN
.
18
3.4
METALLGEHAEUSE
.
19
3.5
MIKROSTRUKTURIERTE
GEHAEUSE
.
20
3.6
BEWERTUNG
.
21
4
ANALYSE
DER
DRUCKEINLEITUNG
24
4.1
SENSOREN
OHNE
GEHAEUSE
.
24
4.2
GEHAEUSTER
SENSOR
IM
STATISCHEN
FALL
.
25
4.3
GEHAEUSTER
SENSOR
IM
DYNAMISCHEN
FALL
.
28
4.4
DISKUSSION
.
32
VI
INHALTSVERZEICHNIS
5
VERKLEINERUNG
VON
METALLGEHAEUSEN
34
5.1
TRENNMEMBRANEN
.
35
5.1.1
PLATTEN
.
36
5.1.2
SCHALEN
.
37
5.1.3
WELLMEMBRANEN
.
38
5.1.4
REALE
MEMBRANEN
.
39
5.1.5
SCHLUSSFOLGERUNGEN
FUER
DIE
MEMBRANAUSLENKUNG
.
43
5.2
UEBERTRAGUNGSMEDIEN
.
44
5.3
ELEKTRISCHE
VERBINDUNGEN
.
47
6
NEUE
GEHAEUSEKONZEPTE
49
6.1
GRUNDSAETZLICHE
UEBERLEGUNGEN
.
49
6.2
STAHLGEHAEUSE
MIT
DUENNFILMLEITERBAHNEN
.
54
6.3
KONSTRUKTION
MIT
LTC-KERAMIK
.
57
7
MEMBRANHERSTELLUNG
60
7.1
KLASSISCHE
MEMBRANHERSTELLUNG
.
60
7.2
ALTERNATIVE
VERFAHREN
.
63
7.3
GALVANISCHE
ABSCHEIDUNG
VON
MEMBRANEN
.
64
7.3.1
AUSWAHL
EINES
GEEIGNETEN
MEMBRANMATERIALS
.
66
7.3.2
GRUNDLAGEN
DER
GALVANISCHEN
METALLABSCHEIDUNG
.
67
7.3.3
AUSWAHL
GEEIGNETER
ELEKTROLYTE
.
70
7.3.4
VORBEREITUNG
DER
OBERFLAECHE
.
71
7.3.5
OPTIMIERUNG
DES
SULFAMATBADES
FUER
DUENNE
SCHICHTEN
.
73
7.3.6
LOCHUEBERSPANNUNG
.
75
INHALTSVERZEICHNIS
VII
7.3.7
MEMBRANHERSTELLUNG
.
76
7.4
EIGENSCHAFTEN
GALVANISCH
ABGESCHIEDENER
MEMBRANEN
.
79
7.4.1
FLACHE
MEMBRANEN
.
80
7.4.2
GEWELLTE
MEMBRANEN
.
82
8
VERBINDUNGSVERFAHREN
85
8.1
VERBINDUNG
STAHL-STAHL
.
85
8.2
VERBINDUNG
STAHL-KERAMIK
.
87
8.3
UNTERSUCHUNG
DER
SCHWEISSNAEHTE
.
90
9
BESCHREIBUNG
DER
AUFGEBAUTEN
SENSOREN
93
9.1
MEMBRANHERSTELLUNG
.
94
9.2
AUFBAU
DES
GEHAEUSES
MIT
STAHLSOCKEL
.
95
9.3
AUFBAU
DES
GEHAEUSES
MIT
KERAMISCHEM
SOCKEL
.
96
9.4
OELBEFUELLUNG
.
97
9.5
ZUSAMMENSTELLUNG
DER
PROTOTYPEN
.
97
10
MESSERGEBNISSE
99
10.1
TRENNMEMBRANEN
.
.
100
10.2
RELATIVDRUCKSENSOR
MIT
STAHLSOCKEL
.
101
10.2.1
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
.
101
10.2.2
LINEARITAET
.
103
10.3
SENSOREN
MIT
KERAMIKSOCKEL
.
104
11
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
UND
AUSBLICK
106
11.1
ERGEBNIS
.
106
VIII
INHALTSVERZEICHNIS
11.2
EINSCHAETZUNG
DER
ERGEBNISSE
.
107
11.2.1
MEMBRANABSCHEIDUNG
.
107
11.2.2
SOCKELHERSTELLUNG
.
109
11.2.3
PRIMAERSENSOREN
.
110
11.2.4
KORROSIONSBESTAENDIGKEIT
.
111
11.2.5
UEBERLASTSICHERHEIT
.
111
11.2.6
WIRTSCHAFTLICHKEIT
.
112
11.2.7
RESUEMEE
.
113
ANHANG
115
A
KURZE
BESCHREIBUNG
DES
PIEZORESISTIVEN
WANDLERS
115
B
DATEN
DES
VERWENDETEN
PRIMAERSENSORS
117
C
EIGENSCHAFTEN
VON
SULFAMATBAEDERN
118
D
MESSPLAETZE
120
D.L
MEMBRANMESSPLATZ
.
120
D.2
SENSORMESSPLATZ
.
121
E
TABELLEN
122
E.L
SIMULATIONSPARAMETER
.
122
E.2
WERKSTOFFDATEN
.
122
F
MORPHOLOGIE
124
LITERATUR
132 |
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