Meßunsicherheit elektromechanischer Wirkprinzipien zur Druckmessung und Optimierung von Verfahren zur Fehlerkorrektur:
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| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2001
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]
875 |
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V
INHALTSVERZEICHNIS
UEBERSICHT
UEBER
DIE
VERWENDETEN
GROESSEN
UND
FORMELZEICHEN
.
VII
1
EINLEITUNG.
*YYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYY
1
1.1
ENTWICKLUNG
DER
DRUCKMESSTECHNIK
.
1
1.2
ANWENDUNGEN
DER
DRUCKMESSTECHNIK
.
2
2
DRUCKMESSTECHNIK
.
4
2.1
DEFINITION
DER
MESSGROESSE
.
4
2.2
AUFBAU
VON
DRUCKMESSUMFORMEM
.
4
2.3
VERFORMUNGSKOERPER
.
6
2.4
PHYSIKALISCHE
WIRKPRINZIPIEN
.
8
2.4.1
RESISTIVE
DRUCKSENSOREN
.
9
2.4.2
PIEZORESISTIVE
VERFAHREN
.
11
2.4.3
KAPAZITIVE
VERFAHREN
.
13
2.4.4
PIEZOELEKTRISCHE
VERFAHREN
.
15
2.4.5
FREQUENZANALOGE
VERFAHREN
.
16
2.4.6
OPTISCHE
VERFAHREN
.
17
3
SIGNALVERARBEITUNG
18
4
SENSORKENNWERTE
YYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYY
21
4.1
UEBERTRAGUNGS
UND
FEHLERMODELL
.
21
4.2
ERMITTLUNG
VON
SENSORKENNWERTEN
.
26
4.2.1
STATISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
26
4.2.2
DYNAMISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
30
4.2.3
ZUFAELLIGE
FEHLER
.
31
4.3
DARSTELLUNG DER
SENSOREIGENSCHAFTEN
.
33
5
MESSPLATZ
FUER
PRIMAERSENSOREN
UND
DRUCKMESSUMFORMER
.
38
5.1
GRUNDSTRUKTUR
.
38
5.2
MESS
UND
STOERGROESSENAUFBEREITUNG
.
38
5.2.1
DRUCKAUFBEREITUNG
.
39
5.2.2
STOERGROESSENAUFBEREITUNG
.
40
5.3
RESISTIVE
SIGNALE
.
42
5.4
KAPAZITIVE
SIGNALE
.
43
5.5
DYNAMISCHE
DRUCKERZEUGUNG
.
45
VI
6
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNG
DER
DRUCKSENSOREN
YYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYY51
6.1
MUSTERUMFANG
.
51
6.2
RESISTIVE
SENSOREN
.
52
6.3
PIEZORESISTIVE
SENSOREN
.
55
6.3.1
ABSOLUTDRUCKSENSOR
AUS
MONOKRISTALLINEM
SILIZIUM
(TYP
1)
.
55
6.3.2
UNTERSUCHUNG
DES
EINFLUSSES
VON
GEHAEUSEN
MIT
OELFULLUNG
UND
TRENNMEMBRAN
AM
BEISPIEL
EINES
POLYSILIZIUM-SENSORDIES
.
58
6.3.3
UNTERSUCHUNG
DES
EINFLUSSES
VON
GLASSOCKELN
AUF
DIE
SENSOREIGENSCHAFTEN
.
63
6.3.4
DRUCKSENSOREN
MIT
POLYSILIZIUM-DMS
AUF
EDELSTAHLVERFORMUNGSKOERPER
(TYP
7)
68
6.4
KAPAZITIVE
SENSOREN
.
71
6.4.1
UNTERSUCHUNG
VON
KAPAZITIVEN
PRIMAERSENSOREN
FUER
UEBERDRUCK
OHNE
ELEKTRONIK
(TYP
8)
.
71
6.4.2
UNTERSUCHUNG
VON
KAPAZITIVEN
SENSORELEMENTEN
FUER
UEBERDRUCK
MIT
PRIMAERELEKTRONIK
(TYP
9)
.
75
6.4.3
UNTERSUCHUNG
VON
KAPAZITIVEN
PRIMAERSENSOREN
FUER
ABSOLUTDRUCK
OHNE
PRIMAERELEKTRONIK
(TYP
10)
.
77
6.5
FREQUENZANALOGE
SENSOREN
.
80
6.6
DYNAMISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
82
7
VERGLEICH
DER
QUASISTATISCHEN
SENSOREIGENSCHAFTEN
85
ZUR
FEHLERKORREKTUR
YYYYYYYYYYYYYYYYYYYY
MMM
YYYYYYYYMA
YYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYY*YYYYYYYYYYYY
M.W.
8.1
STATISCHE
FEHLER
.
90
8.1.1
POLYNOMAPPROXIMATION
.
92
8.1.2
SPLINE-INTERPOLATION
.
94
8.1.3
GEBROCHENRATIONALE
FUNKTIONEN
.
94
8.1.4
ANALOGE
SCHALTUNGEN
ZUR
KOMPENSATION
.
95
8.1.5
DIGITALE
KOMPENSATIONSVERFAHREN
.
98
8.2
DYNAMISCHE
FEHLER
.
99
8.3
ZUFAELLIGE
FEHLER
.
99
9
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
UND
AUSBLICK
101
9.1
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
.
101
9.2
AUSBLICK
.
103
10
LITERATUR
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