Modellierung des industriellen FZ-Prozesses zur Züchtung von Silizium-Einkristallen:
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2001
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 9, Elektrotechnik, Elektronik ; 330 |
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INHALTSVERZEICHNIS
V
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
UEBERBLICK
ZUM
STAND
DER
ENTWICKLUNG
6
2.1
KLASSISCHES
FZ-VERFAHREN
FUER
KLEINE
DURCHMESSER
.
7
2.2
FZ-VERFAHREN
MIT
NEEDLE-EYE
TECHNIK
.
9
3
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
ZUR
MODELLIERUNG
DES
FZ-PROZESSES
14
3.1
ABGRENZUNG
STATIONAERER
UND
TRANSIENTER
VORGAENGE
.
14
3.2
HOCHFREQUENTES
ELEKTROMAGNETISCHES
FELD
.
15
3.3
TEMPERATURFELD
.
16
3.4
SCHMELZENSTROEMUNG
.
19
3.5
DOTIERSTOFFTRANSPORT
UND
SEGREGATION
.
25
4
MODELLKETTE
ZUR
ZWEIDIMENSIONALEN
BERECHNUNG
DES
INDUSTRIELLEN
FZ
PROZESSES
31
4.1
MODELL
FUER
DIE
BERECHNUNG
DER
PHASENGRENZEN
.
31
4.2
MODELL
FUER
DIE
BERECHNUNG
DER
SCHMELZENSTROEMUNG
.
39
4.3
MODELL
FUER
DIE
BERECHNUNG
DER
DOTIERSTOFFVERTEILUNG
.
42
4.4
KOPPLUNG
DER
MODELLE
ZUM
GESAMTMODELL
.
43
5
UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE
ZUR
ZWEIDIMENSIONALEN
BERECHNUNG
46
5.1
MATERIALDATEN
FUER
SILIZIUM
UND
PROZESSDATEN
FUER
DAS
EXPERIMENT
.
47
5.2
PHASENGRENZEN,
SCHMELZENSTROEMUNG
UND
WIDERSTANDSVERTEILUNG
.
48
5.3
VERGLEICH
MIT
KOMMERZIELLEN
PROGRAMMEN
.
70
5.4
FAZIT
FUER
DAS
ZWEIDIMENSIONALE
BERECHNUNGSMODELL
.
72
6
UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE
ZUM
EINFLUSS
MAGNETISCHER
FELDER
73
6.1
AENDERUNG
DER
FREQUENZ
DES
HF-INDUKTORSTROMES
.
73
6.2
EINFLUSS
EINES
AXIALEN
MAGNETISCHEN
GLEICHFELDES
.
77
6.3
EINFLUSS
EINES
ZUSAETZLICHEN
TIEFFREQUENTEN
AG-FELDES .
79
6.4
EINFLUSS
EINES
ROTIERENDEN
MAGNETISCHEN
FELDES
.
85
VI
INHALTSVERZEICHNIS
6.5
FAZIT
ZUM
EINFLUI
MAGNETISCHER
FELDER
.
90
7
MODELLE
UND
UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE
ZU
DREIDIMENSIONALEN
EFFEK
TEN
92
7.1
MATHEMATISCHES
MODELL
UND
UMSETZUNG
IN
SIMULATIONSPROGRAMME
.
93
7.2
STATIONAERE
BERECHNUNG
IN
EINER
SYMMETRISCHEN
ZONE
.
96
7.3
TRANSIENTE
BERECHNUNG
IN
EINER
SYMMETRISCHEN
ZONE
.
107
7.4
STATIONAERE
BERECHNUNG
IN
EINER
UNSYMMETRISCHEN
ZONE
.
110
7.5
FAZIT
ZU
DEN
DREIDIMENSIONALEN
UNTERSUCHUNGEN
.
116
8
THERMISCHE
SPANNUNGEN
UND
VERSETZUNGSBILDUNG
IM
EINKRISTALL
118
8.1
KRISTALLSTRUKTUR
VON
SILIZIUM
UND
VERSETZUNGSBILDUNG
.
118
8.2
LITERATUR
ZU
THERMISCHEN
SPANNUNGEN
.
121
8.3
MATHEMATISCHE
MODELLE
UND
NUMERISCHE
UMSETZUNG
.
129
8.4
BERECHNUNGSERGEBNISSE
.
134
8.5
FAZIT
ZU
DEN
THERMISCHEN
SPANNUNGEN
IM
EINKRISTALL
.
144
9
AUSBLICK
146
10
ZUSAMMENFASSUNG
148
LITERATUR
151 |
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