MOVPE-Wachstum und Charakterisierung von V-Graben Quantendrähten im Materialsystem AlGaAs-GaAs:
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Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
2000
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3805 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
NIEDRIGDIMENSIONALE
SYSTEME
5
2.1
HETEROSTRUKTUREN
UND
ZWEIDIMENSIONALE
ELEKTRONENGASE
.
5
2.2
QUANTENDRAEHTE
.
8
3
WACHSTUM
IN
DER
MOVPE
13
3.1
DER
MOVPE-PROZESS
.
13
3.2
OBERFLAECHENPROZESSE
BEIM
MOVPE-WACHSTUM
.
16
3.2.1
OBERFLAECHEN-KONFIGURATIONEN
.
16
3.2.2
OBERFLAECHENDIFFUSION
.
19
3.2.3
STUFENBUENDELUNG
.
21
3.3
WACHSTUM
AUF
STRUKTURIERTEN
SUBSTRATEN
.
23
3.3.1
SELBSTLIMITIERENDES
WACHSTUM
.
26
3.3.2
ABSCHATTUNGSMODELL
.
33
3.3.3
KONSEQUENZEN
FUER
DIE
QUANTENDRAHT-HERSTELLUNG
.
36
4
EXPERIMENTELLES
UND
METHODEN
39
4.1
AUFBAU
DER
MOVPE-ANLAGE
.
39
4.1.1
QUELLENVERBINDUNGEN
.
41
4.2
IN
SZHZ-ANALYTIK
.
43
4.2.1
REFLEKTOMETRIE
.
43
4.2.2
AUFBAU
DER
EPIRAS-200
.
46
4.3
EX
5FIIU-CHARAKTERISIERUNG
.
47
4.3.1
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
.
48
4.3.2
HALL-EFFEKT-MESSUNG
.
48
4.3.3
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
49
4.3.4
PHOTOLUMINESZENZ-SPEKTROSKOPIE
.
50
4.3.5
MORPHOLOGIE-UNTERSUCHUNGEN
.
53
4.4
STRUKTURIERTE
SUBSTRATE
.
53
4.5
BERECHNUNG
ELEKTRONISCHER
ZUSTAENDE
.
54
II
INHALTSVERZEICHNIS
4.5.1
LOESUNG
DER
ZWEIDIMENSIONALEN
SCHROEDINGERGLEICHUNG
.
55
5
VORUNTERSUCHUNGEN
ZUM
WACHSTUM
57
5.1
HOMOGENITAETSUNTERSUCHUNGEN
.
57
5.2
EINFLUSS
DER
OPTISCHEN
FENSTER
.
62
5.3
BESTIMMUNG
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
.
64
6
WACHSTUM
AUF
PLANAREN
SUBSTRATEN
69
6.1
V/III-VERHAELTNIS
.
70
6.2
VARIATION
DER
TEMPERATUR
.
72
7
V-GRABEN
WACHSTUM
77
7.1
VORSTRUKTURIERUNG
DER
SUBSTRATE
.
77
7.2
GAAS-WACHSTUM
.
82
7.2.1
GAAS-WACHSTUM
MIT
TMGA
.
82
7.2.2
WACHSTUM
MIT
TEGA
.
92
7.2.3
VERGLEICH
TMGA-TEGA
.
96
7.2.4
SCHLUSSFOLGERUNGEN
FUER
DAS
QUANTENDRAHT-WACHSTUM
.
98
7.3
AL0.30GA0.70AS
WACHSTUM
.
104
7.3.1
WACHSTUM
MIT
TMGA/TMAL
.
104
7.3.2
TMGA/ALAN
.
111
7.3.3
TEGA/ALAN
.
113
7.3.4
TEGA/TMAL
.
116
7.3.5
VERGLEICH
DER
QUELLEN-KOMBINATIONEN
.
117
7.3.6
AUSWIRKUNGEN
AUF
DAS
QUANTENDRAHT-WACHSTUM
.
120
7.3.7
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
123
7.4
PARAMETER
FUER
DAS
QUANTENDRAHTWACHSTUM
.
124
8
OPTISCHE
UNTERSUCHUNGEN
125
8.1
SCHICHTSTRUKTUR
.
125
8.2
ELEKTRONISCHE
ZUSTAENDE
.
129
8.3
OPTISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
131
8.3.1
DOTIERTE
PROBEN
.
135
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
137 |
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