GMR-Effekt in granularen metallischen Schichten für Sensoranwendungen:
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| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2000
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 9, Elektrotechnik, Elektronik ; 326 |
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V
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
_
.
_
.
_
-
_
3
2.1
E
INLEITUNG
.
3
2.2
M
AGNETOWIDERSTAND
UND
AMR
.
4
2.3
A
NTIPARALLELE
A
USRICHTUNG
DER
MAGNETISCHEN
M
OMENTE
.
5
2.4
G
IANT
M
AGNETORESISTANCE
E
FFEKT
.
7
2.5
P
HYSIKALISCHE
U
RSACHEN
DES
GMR-E
FFEKTS
.
9
2.6
G
RENZFLAECHEN
-
ODER
B
ULKSTREUUNG
.
14
2.7
G
RANULAERE
GMR-S
CHICHTEN
.
14
3
PROBENHERSTELLUNG
_
20
3.1
K
O
-V
ERDAMPFEN
.
23
3.1.1
MBE-ANLAGE.
.
23
3.1.2
HERSTELLUNG
DER
SCHICHTEN
.
26
3.2
K
O
-S
PUTTERN
.
27
3.2.1
SPUTTER-ANLAGE
.
28
3.2.2
HERSTELLUNG
DER
SCHICHTEN
.
30
3.3
T
EMPERATURBEHANDLUNG
IM
V
AKUUM
-O
FEN
.
31
4
PROBENCHARAKTERISIERUNG
_
32
4.1
S
TRUKTURELLE
E
IGENSCHAFTEN
.
32
4.1.1
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
.
32
4.1.2
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
DUCH
RBS.
.
34
4.1.3
MOESSBAUER-SPEKTROSKOPIE
.
38
4.1.4
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
40
4.1.5
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
41
4.1.6
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
42
4.1.7
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
43
4.2
E
LEKTRONISCHE
E
IGENSCHAFTEN
.
44
4.2.1
WIDERSTANDSMESSUNGEN
.
44
4.3
M
AGNETISCHE
E
IGENSCHAFTEN
.
46
4.3.1
SQUID-MAGNETOMETRIE
.
46
5
EXPERIMENTE,
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
_
48
5.1
G
RANULAERES
S
YSTEM
A
G
F
E
.49
5.1.1
MAGNETOWIDERSTAND.
.
50
5.1.2
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
51
5.1.3
MOESSBAUER-SPEKTROSKOPIE
.
52
5.1.4
TEILCHENGROESSEN
.
57
5.1.5
KORRELATION
VON
GMR-EFFEKT
UND
GRENZFLAECHEN
.
58
5.1.6
SQUID-MAGNETOMETRIE
.
59
5.1.7
ZUSAMMENFASSUNG
FUER
DAS
SYSTEM
AGFE
.
60
VI
5.2
G
RANULAERES
S
YSTEM
A
G
C
O
.
61
5.2.1
MAGNETOWIDERSTAND.
.61
5.2.2
MAGNETISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
81
5.2.3
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
.
92
5.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
JUR
DAS
SYSTEM
AGCO
.
100
5.3
G
RANULAERES
S
YSTEM
A
G
P
Y
.
101
5.3.1
MAGNETOWIDERSTAND.
.
101
5.3.2
ZUSAMMENFASSUNG
FUER
DAS
SYSTEM
AGPY
.
108
5.4
G
RANULAERES
S
YSTEM
A
G
P
Y
C
O
.
109
5.4.1
MAGNETOWIDERSTAND.
.
109
5.4.2
ZUSAMMENFASSUNG
FUER
DAS
SYSTEM
AGPYCO.
.
112
5.5
G
RANULAERES
S
YSTEM
A
G
A
U
C
O
.
112
5.5.1
MAGNETOWIDERSTAND.
.
113
5.5.2
SQUID-MAGNETOMETRIE
.
116
5.5.3
ZUSAMMENFASSUNG
JUR
DAS
SYSTEM
AGAUCO
.
116
5.6
G
RANULAERE
C
U
/C
O
C
U
-M
ULTILAGEN
.
117
5.6.1
MAGNETOWIDERSTAND.
.118
5.6.2
STRUKTUR.
.
120
5.7
C
U
/P
Y
-M
ULTILAGEN
.
121
5.7.1
MAGNETOWIDERSTAND
UND
MAGNETISIERUNG
.
121
5.7.2
STRUKTUR
.
124
6
ANWENDUNGEN
_126
6.1
S
PIN
-T
RANSISTOREN
.
126
6.2
MRAM
.
127
6.3
L
ESEKOEPFE
UND
S
ENSOREN
.
128
6.4
E
NTWICKLUNG
EINES
S
ENSOR
-D
EMONSTRATORS
MIT
GRANULAEREN
S
CHICHTEN
.
129
6.4.1
GMR-WIDERSTAENDE
.
130
6.4.2
BRUECKENSCHALTUNG
.
130
6.4.3
ABSCHIRMUNG
DES
MAGNETISCHEN
FELDES
.
131
6.4.4
KONZENTRATION
DES
MAGNETISCHEN
FLUSSES
.
132
6.4.5
SENSOR-LAYOUT
.134
6.4.6
PROZESSSCHRITTE
ZUR
SENSORHERSTELLUNG
.
135
6.4.7
SPANNUNGS-KENNLINIE
NACH
DER
STRUKTURIERUNG
DER
GMR-MAEANDER
.
137
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
_
138
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