Entwicklung eines magnetisch-induktiven Mikroventils nach dem AMANDA-Verfahren:
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Karlsruhe
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2000
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SEITE
I
INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
2
THEORETISCHE
VORUEBERLEGUNGEN
3
2.1
KONZEPTIONSGRUNDLAGEN
5
2.1.1
VORGABE
YYNORMALLY
CLOSED
"
VENTIL
5
2.1.2
VORGABE
DIFFERENZDRUCK
AM
AUSLASS
VON
100
HPA
7
2.1.3
VORGABE
VOLUMENSTROEME
BIS
50
PL/MIN
7
2.1.4
VORGABE
AKTORPRINZIP
LORENTZKRAFT
8
2.1.5
VORGABE
MAXIMALE
LEISTUNGSAUFNAHME
5
MW
9
2.2
MAGNETFELD
11
23
FEM-SIMULATION
DER
MAGNETISCHEN
FLUSSDICHTE
13
2.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
THEORETISCHEN
DESIGNUEBERLEGUNGEN
17
3
DURCHFUEHRUNG
18
3.1
DAS
AMANDA-VERFAHREN
19
3.2
HERSTELLUNG
VON
GEHAEUSETEILEN
20
3.2.1
SPRITZGIESSEN
20
3.2.2
HEISSPRAEGEN
22
3.2.3
LICHTINDUZIERTES
REAKTIONSGIESSEN
24
3.2.4
RAPID
MICRO
PRODUCT
DEVELOPMENT
25
3.2.5
OPTISCHE
LITHOGRAPHIE
MIT
EPON-SU8
25
3.2.6
NUTZENHERSTELLUNG
MITTELS
LASER
29
3.2.7
VERGLEICH
DER
FERTIGUNGSVERFAHREN
31
3.2.8
RESTSCHICHT
UND
GRATE
32
33
MEMBRANUEBERTRAGUNG
UND
KONTAKTIERUNG
32
3.3.1
KAMMERKLEBETECHNIK
32
3.3.2
LEITKLEBEN
37
3.3.3
UV-KLEBEN
38
3.4
FORMEINSAETZE
39
3.4.1
HERSTELLUNG
39
3.4.2
DESIGN
40
SEITE
II
3.5
MEMBRANHERSTELLUNG 48
3.5.1
SCHICHTAUFBAU
DER
MEMBRAN 49
4
ERGEBNISSE
53
4-1
BEIDSEITIGE
ABFORMUNG
53
4.1.1
BEIDSEITIGER
SPRITZGUSS
57
4.1.2 BEIDSEITIGES
HEISSPRAEGEN
58
4.1.3
ANDERE
TECHNIKEN
59
4.1.4
VEREINZELUNG
59
4.1.5
STANZE
62
4.2
MESSUNGEN
AN
DEN
VENTILEN
64
4.2.1
MESSAUFBAU
64
4.2.2
CHARAKTERISIERUNG
65
4.2.3
THERMISCHES
VERHALTEN
66
4.2.4 QUELLEN
DER
MEMBRAN
67
5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
69
LITERATURVERZEICHNIS
73 |
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