Material- und Verfahrensentwicklung für mikrotechnische Hochleistungsbauteile Strategiefondsprojekt der Hermann-von-Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren ; Statuskolloquium am 25. Oktober 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA, 2000)
Literaturangaben