Plasmagestützte Abscheidung und Charakterisierung von dünnen mehrphasigen Schichten:
Saved in:
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| Published: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
2000
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| Series: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3789 |
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