Untersuchungen zum Verhalten von Millimeterwellen-Schaltungen in Flip-Chip-Technik auf koplanaren Leiterstrukturen:
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
ZUSAMMENFASSUNG I
T
1. STAND DER TECHNIK - MOTIVATION UND ZIEL DER ARBEIT 1
2. EINLEITUNG 4
2.1 DIE KOPLANARLEITUNG UND IHRE ALTERNATIVEN 4
2.2 FLIP-CHIP-TECHNIK VERSUS DRAHTBONDTECJINIK 8
3. UNTERSUCHUNG DER EIGENSCHAFTEN DER KOPLANARLEITUNG 10
3.1 DISPERSION 10
3.2 OHMSCHE UND DIELEKTRISCHE LEITUNGSVERIUSTE 11
3.3 QUASISTATISCHE BERECHNUNG VON Z
L UND EEFR 15
3.4 VERLUSTE DURCH KONTINUIERLICHE ABSTRAHLUNG INS SUBSTRAT 20
3.5 ABSTRAHLUNG AN DISKONTINUITAETEN 27
3.6 DIE WELLENTYPEN DER KOPLANARLEITUNG IN ABHAENGIGKEIT 35
VON DER LEITERGEOMETRIE
3.6.1 KOPLANAR- UND SCHLITZLEITUNGSWELLENTYP 35
3.6.2 OBERFLAECHENWELLEN BEI ENDLICHER SUBSTRATHOEHE 37
3.6.3 WELLENTYPEN BEI UNTERSEITIGER SUBSTRATMETALLISIERUNG 44
3.6.4 WELLENTYPEN BEI DIELEKTRISCHER UNTERLAGE 53
3.6.5 WELLENTYPEN IM FALL EINES FLIP-CHIP-GEBONDETEN 57
KOPLANAR-MMICS
3.6.6 DESIGNREGELN AUS DER LITERATUR ZUR VERMEIDUNG PARASITAERER
WELLENTYPEN
3.7 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNG PARASITAERER WELLENTYPEN IN REALEN,
ENDLICH AUSGEDEHNTEN LEITUNGSSTRUKTUREN
67
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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3.8 MODELLIERUNG DER RESONANTEN EFFEKTE DURCH PARASITAERE WELLENTYPEN 85
AUF KOPLANARLEITUNGEN MIT ENDLICH AUSGEDEHNTEN SUBSTRATEN
3.9 VERIFIKATION DES RESONATORMODELLS MIT ANSOFT-HFSS 92
3.10 DESIGNREGELN FUER DIE KOPLANARLEITUNG ZUR UNTERDRUECKUNG
PARASITAERER WELLENTYPEN
3.11 VERIFIKATION DER DESIGNREGELN AN KOMPLEXEN STRUKTUREN 107
4. DIE FLIP-CHIP-TECHNIK 111
4.1 UEBERBLICK UEBER DIE VERSCHIEDENEN BUMP-/MONTAGETECHNOLOGIEN 111
4.2 VERGLEICH VON FLIP-CHIP-TECHNIK UND DRAHTBONDTECHNIK 120
4.3 MECHANISCHE FESTIGKEIT (VERLAESSLICHKEIT/DAUERHAFTIGKEIT) DER FLIP-
125
CHIP-VERBINDUNGEN
4.4 THERMOBILANZ IM FLIP-CHIP 128
4.5 MILIIMETERWELLEN-TAUGLICHKEITDES FLIP-CHIP-AUFBAUS 133
4.5.1 DER EINFLUSS DER BUMPHOEHE 133
4.5.2 DIE REPRODUZIERBARKEIT DER BUMPHOEHE 135
4.6 FLIP-CHIP-DESIGNREGELN 141
ANHANG:
A1 WICHTIGE FORMELN UND DEFINITIONEN A1
A2 HERLEITUNG DER EIGENWERTGLEICHUNGEN FUER PARALLELPLATTENWELLENTYPEN A3
IN ZWEI GESCHICHTETEN DIELEKTRIKA |
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