Entwicklung einer industriellen Kristallzüchtungsanlage zur Herstellung von langen, semiisolierenden 4"GaAs-Kristallen nach dem vertikalen Gradient-Freeze-Verfahren:
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INHALT
1
ZUSAMMENFASSUNG
.
5
2
EINLEITUNG
.
8
2.1
STAND
DER
TECHNIK
AM
ERLANGER
KRISTALLABOR,
AUSGANGSPUNKT
DER
ARBEITEN
.
8
2.2
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
.
10
3
DERZEITIGER
STAND
BEI
DER
INDUSTRIELLEN
GAAS
ZUECHTUNG
.
12
3.1
GAAS
UND
SEINE
VERWENDUNG
.
12
3.1.1
GAAS:SI
.
12
3.1.2
SI-GAAS
.
13
3.2 METHODEN
ZUR
MASSIVKRISTALLZUECHTUNG
VON
GAAS
.
15
3.2.1
DAS
LEC
VERFAHREN
.
16
3.2.2
VERFAHREN
MIT
REDUZIERTEM
TEMPERATURGRADIENTEN
.
18
3.3
DIE
AUFGABENSTELLUNG
FUER
DIE
NEUE
OFENANLAGE
.
23
4
SIMULATIONSGESTUETZTE
ENTWICKLUNG
DES
ANLAGENKONZEPTS
.
26
4.1
MODELLIERUNG
VON
KONZEPTVARIANTEN
.
26
4.2
HEIZERANZAHL
UND
HEIZERANORDNUNG
.
30
4.3
OPTIMIERUNG
THERMISCH
PASSIVER
ELEMENTE
.
38
5
DIE
TECHNOLOGISCHE
VERWIRKLICHUNG
DER
OFENANLAGE
.
42
5.1
DER
INNENAUFBAU
DER
OFENANLAGE
.
43
5.2
DIE
LEISTUNGSVERSORGUNG,
REGELUNG
UND
MESSWERTERFASSUNG
.
46
6
THERMISCHE
VERMESSUNG
DER
OFENANLAGE
.
49
6.1
MESSUNGEN
ZUR
ANKEIMSITUATION
.
51
6.2
MESSUNGEN
ZUM
EINFLUSS
EINZELNER
HEIZER
.
54
6.3 MESSUNGEN
ZUR
VARIATION
DES
AXIALEN
TEMPERATURGRADIENTEN
.
55
6.4
MESSUNGEN
ZUR
VORBEREITUNG
DER
PROZESSFUEHRUNG
.
57
6.5 VERGLEICH
SIMULATION-EXPERIMENT
.
60
7
ZUECHTUNGSEXPERIMENTE
UND
ERGEBNISSE
.
63
7.1
AUSGANGSMATERIAL,
TIEGELPRAEPARATION
UND
AUSLOESEPROZEDUR
.
64
7.2 VERWENDETE
PROZESSABLAEUFE
UND
GEZUECHTETE
KRISTALLE
.
67
7.3
MODELLIERUNGEN
ZUR
PROZESSOPTIMIERUNG
.
72
7.4
ZUECHTUNGSERGEBNISSE.
81
7.4.1
DIE ANKEIMSITUATION
.
85
7.4.2
NETZWERKSTRUKUR
DER
VERSETZUNGEN
.
86
7.4.3
AUSBILDUNG
UND
ERSCHEINUNGSFORMEN
VON
SUB
UND
KLEINWINKELKOMGRENZEN
BZW.
LINEAGE
.
93
7.4.4
VERSETZUNGSANHAEUFUNGEN
.
97
7.4.5
VORSTUFEN
DES
POLYKRISTALLINEN
WACHSTUMS
.
98
7.4.6
GLEITBAENDER
.
103
7.4.7
VERSETZUNGSDICHTE
.
104
7.4.8
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
.-.
.
108
7.5
MARKIERUNG
DER
PHASENGRENZE
DURCH
DOTIERSTOFFSTREIFEN
.
111
8
DISKUSSION
DER
ZQCHTUNGSERGEBNISSE
.
123
9
ZUSAMMENFASSENDE
BEWERTUNG
UND
AUSBLICK
.
129
10
LITERATURVERZEICHNIS
.
133 |
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