Glasbearbeitung mit ArF-Laserstrahlung:
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| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2000
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2]
550 Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen |
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INHALT
V
INHALT
SEITE
VERWENDETE
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
VII
ABSTRACT
XII
1
EINLEITUNG
1
2
STAND
DER
TECHNIK
UND
DES
WISSENS
3
2.1
OPTISCHES
GLAS
3
2.1.1
GRUNDLAGEN
UND
STRUKTURELLER
AUFBAU
VON
GLAS
3
2.1.2
EIGENSCHAFTEN
VON
OPTISCHEM
GLAS
6
2.2
GRUNDLAGEN
ZUR
GLASBEARBEITUNG
8
2.2.1
VERFAHREN
ZUR
HERSTELLUNG
OPTISCHER
ELEMENTE
AUS
GLAS
8
2.2.2
GLASBEARBEITUNG
MIT
LASERSTRAHLUNG
9
2.2.3
EINSATZGEBIETE
UND
FERTIGUNGSVERFAHREN
FUER
REFRAKTIVE
MIKROOPTIKEN
10
2.3
MATERIALBEARBEITUNG
MIT
EXCIMER-LASERSTRAHLUNG
14
2.3.1
MODELLE
ZUR
STRAHL-STOFF-WECHSELWIRKUNG
14
2.3.2
ENTSTEHUNG
DES
LASERINDUZIERTEN
PLASMAS
17
2.3.3
LASERINDUZIERTE
KOERPERSCHALLENTSTEHUNG
UND
-AUSBREITUNG
19
3
AUFGABENSTELLUNG
22
4
VERSUCHSTECHNIK
24
4.1
VORGEHENSSYSTEMATIK
24
4.2
VERSUCHSWERKSTOFF
25
4.3
VERSUCHSAUFBAU
ZUR
UNTERSUCHUNG
DER
PLASMAWOLKENEXPANSION
26
4.4
MESS
UND
AUSWERTETECHNIK
ZUR
BEURTEILUNG
DER
BEARBEITUNGSERGEBNISSE
27
4.5
FEHLERBETRACHTUNG
33
5
ANLAGENENTWICKLUNG
FUER
DIE
DREIDIMENSIONALE
MIKROSTRUKTURIERUNG
MIT
ARF
LASERSTRAHLUNG
36
5.1
STRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
VON
EXCIMER-LASERSTRAHLUNG
36
5.2
ANLAGENKONZEPT
ZUR
SPIEGELFTEIEN
STRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
39
5.3
AUFBAU
DER
SPUELGASVERSORGUNG
DES
STRAHLENGANGS
41
5.4
BEARBEITUNGSKOPF
MIT
INTEGRIERTEN
BEOBACHTUNGSSYSTEMEN
42
5.5
POSITIONIERSYSTEM
UND
STEUERUNG
46
6
ERMITTLUNG
DES
ANLAGENVERHALTENS
HINSICHTLICH
DER
ATMOSPHAERISCHEN
BEDINGUNGEN
IM
STRAHLENGANG
48
7
GRUNDLEGENDE
ABTRAGSUNTERSUCHUNGEN
50
7.1
ABTRAGSVERHALTEN
VON
OPTISCHEM
GLAS
50
VI
INHALT
7.1.1
VERGLEICHENDE
ABTRAGSUNTERSUCHUNG
MIT
DEN
BEARBEITUNGSWELLENLAENGEN
X
=
248
NM
UND
X=
193
NM
50
7.1.2
BESTIMMUNG
DER
ABTRAGSRATE
52
7.1.3
ERMITTLUNG
DER
RAUHEIT
IM
ABTRAGSGRUND
57
7.1.4
FORM
DES
EINZELPULSABTRAGS
59
7.2
EXPANSION
LASERINDUZIERTER
PLASMEN
61
7.2.1
AUSBREITUNG
DER
PLASMAFORMATION
62
7.2.2
ERMITTLUNG
DER
REDEPOSITVERTEILUNG
AUF
DEM
WERKSTUECK
65
8
KOERPERSCHALLGESTUETZTE
REGELUNG
DER
ABTRAGSRATE
71
8.1
ANFORDERUNGEN
AN
EINE
PROZESSUEBERWACHUNG
FUER
DIE
ARF-LASERMATERIALBEARBEITUNG
71
8.2
ERMITTLUNG
DER
PROZESSEINFLUSSGROESSEN
AUF
DIE
KOERPERSCHALLENTSTEHUNG
72
8.2.1
MESSUNG
DES
KOERPERSCHALLSIGNALS
BEIM
EXCIMER-LASERMATERIALABTRAG
73
8.2.2
EINFLUSS
DES
MESSABSTANDES
AUF
DAS
KOERPERSCHALLSIGNAL
75
8.2.3
EINFLUSS
DER
ENERGIEDICHTE
AUF
DAS
KOERPERSCHALLSIGNAL
76
8.2.4
EINFLUSS
DER
STRAHLQUERSCHNITTSFLAECHE
AUF
DES
KOERPERSCHALLSIGNAL
77
8.3
ENTWICKLUNG
EINES
AUF
KOERPERSCHALL
BASIERENDEN
REGELUNGSSYSTEMS
79
8.3.1
VERSUCHSANORDNUNG
ZUR
ERMITTLUNG
DES
SYSTEMVERHALTENS
79
8.3.2
KENNLINIENBASIERTE
REGELUNG
DER
ROHSTRAHLENERGIE
80
8.3.3
UNTERSUCHUNG
DES
SYSTEMVERHALTENS
HINSICHTLICH
DER
ROHSTRAHLENERGIE
82
8.3.4
ABSCHLIESSENDE
BEURTEILUNG
DER
KOERPERSCHALLBASIERTEN
REGELUNG
83
9
FERTIGUNG
VON
ASPHAERISCHEN
ZYLINDERLINSEN
MIT
ARF-LASERSTRAHLUNG
85
9.1
PRINZIP
ZUR
HERSTELLUNG
VON
DREIDIMENSIONALEN
STRUKTUREN
MIT
EINZELPULSABTRAEGEN
85
9.2
DATENGENERIERUNG
ZUR
HERSTELLUNG
VON
ASPHAERISCHEN
MIKROZYLINDERLINSEN
87
9.3
ERMITTLUNG
VON
RAUHEITSMINIMIERENDEN
VERSATZPARAMETEM
DER
EINZELPULSABTRAEGE
88
10
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
GLAETTEN
VON
MIKROLINSEN
92
10.1
ANFORDERUNGEN
AN
EIN
GLAETTUNGSVERFAHREN
FUER
REFRAKTIVE
MIKROLINSEN
92
10.2
THERMISCHES
GLAETTEN
STRUKTURIERTER
GLASOBERFLAECHEN
92
10.3
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
THERMISCH
GEGLAETTETER
ZYLINDERLINSEN
95
10.3.1
EIGENSPANNUNGSANALYSE
DER
BEARBEITETEN
GLASOBERFLAECHEN
95
10.3.2
INTENSITAETSVERTEILUNG
EINES
DIODENLASERS
IM
FEMFELD
DER
MIKROLINSE
95
11
BEDEUTUNG
FUER
DIE
PRAXIS
UND
AUSBLICK
97
11.1
BEWERTUNG
DES
VERFAHRENS
97
11.2
AUSBLICK
UND
ANSAETZE
FILR
KUENFTIGE
WEITERENTWICKLUNGEN
98
12
ZUSAMMENFASSUNG
13
LITERATUR
102
105 |
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