Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
2000
|
| Series: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3767 |
| Subjects: | |
| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 |
| Physical Description: | V, 102 S. graph. Darst. : 30 cm |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013347670 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010713 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 000912s2000 gw d||| tm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 959531289 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)76169982 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013347670 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-703 | ||
| 084 | |a PHY 793d |2 stub | ||
| 084 | |a CHE 250d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 782d |2 stub | ||
| 088 | |a Jül 3767 | ||
| 100 | 1 | |a Böhmer, Elmar |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium |c Elmar Böhmer. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik] |
| 246 | 1 | 3 | |a Jül 3767 |
| 264 | 1 | |a Jülich |b Forschungszentrum, Zentralbibliothek |c 2000 | |
| 300 | |a V, 102 S. |b graph. Darst. : 30 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3767 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Photoelektronenspektroskopie |0 (DE-588)4174491-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrokristall |0 (DE-588)4169828-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wasserstoff |0 (DE-588)4064784-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Wasserstoff |0 (DE-588)4064784-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Mikrokristall |0 (DE-588)4169828-9 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Photoelektronenspektroskopie |0 (DE-588)4174491-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3767 |w (DE-604)BV004194732 |9 3767 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009102534 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804128122566606848 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Böhmer, Elmar |
| author_facet | Böhmer, Elmar |
| author_role | aut |
| author_sort | Böhmer, Elmar |
| author_variant | e b eb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013347670 |
| classification_tum | PHY 793d CHE 250d PHY 782d |
| ctrlnum | (OCoLC)76169982 (DE-599)BVBBV013347670 |
| discipline | Physik Chemie |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02063nam a2200529 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV013347670</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010713 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">000912s2000 gw d||| tm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">959531289</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76169982</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013347670</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 793d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CHE 250d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 782d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jül 3767</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Böhmer, Elmar</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium</subfield><subfield code="c">Elmar Böhmer. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik]</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Jül 3767</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Jülich</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum, Zentralbibliothek</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 102 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst. : 30 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3767</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Photoelektronenspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174491-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrokristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169828-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wasserstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4064784-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Wasserstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4064784-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Mikrokristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169828-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Photoelektronenspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174491-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3767</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004194732</subfield><subfield code="9">3767</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009102534</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013347670 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:44:13Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009102534 |
| oclc_num | 76169982 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-703 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-703 |
| physical | V, 102 S. graph. Darst. : 30 cm |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Forschungszentrum, Zentralbibliothek |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| series2 | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| spelling | Böhmer, Elmar Verfasser aut Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium Elmar Böhmer. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik] Jül 3767 Jülich Forschungszentrum, Zentralbibliothek 2000 V, 102 S. graph. Darst. : 30 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3767 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 Photoelektronenspektroskopie (DE-588)4174491-3 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd rswk-swf Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Wasserstoff (DE-588)4064784-5 s Mikrokristall (DE-588)4169828-9 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s Photoelektronenspektroskopie (DE-588)4174491-3 s DE-604 Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3767 (DE-604)BV004194732 3767 |
| spellingShingle | Böhmer, Elmar Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich Photoelektronenspektroskopie (DE-588)4174491-3 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4174491-3 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4169828-9 (DE-588)4064784-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium |
| title_alt | Jül 3767 |
| title_auth | Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium |
| title_exact_search | Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium |
| title_full | Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium Elmar Böhmer. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik] |
| title_fullStr | Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium Elmar Böhmer. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik] |
| title_full_unstemmed | Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium Elmar Böhmer. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik] |
| title_short | Photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem Silizium |
| title_sort | photoelektronenspektrokopie von mikrokristallinem silizium |
| topic | Photoelektronenspektroskopie (DE-588)4174491-3 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd |
| topic_facet | Photoelektronenspektroskopie Dünne Schicht CVD-Verfahren Silicium Mikrokristall Wasserstoff Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV004194732 |
| work_keys_str_mv | AT bohmerelmar photoelektronenspektrokopievonmikrokristallinemsilizium AT bohmerelmar jul3767 |