Messungen mit dem weltweit ersten Rasterpositronenmikroskop:
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2000
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RAUMFAHRTTECHNIK INSTITUT FUER NUKLEARE FESTKOERPERPHYSIK MESSUNGEN MIT
DEM WELTWEIT ERSTEN RASTERPOSITRONENMIKROSKOP ARMIN DAVID VOLLSTAENDIGER
ABDRUCK DER VOM FACHBEREICH FUER LUFT- UND RAUMFAHRTTECHNIK DER UNI-
VERSITAET DER BUNDESWEHR MUENCHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES
EINES DOK- TORS DER INGENIEURWISSENSCHAFTEN (DR.-ING.) GENEHMIGTEN
DISSERTATION. VORSITZENDER: PROF. DR.-ING. H.-J. GUDLADT 1.
BERICHTERSTATTER: PROF. DR. RER. NAT. W. TRIFTSHAEUSER 2.
BERICHTERSTATTER: PROF. DR. RER. NAT. K. SCHRECKENBACH TAG DER PRUEFUNG:
30.05.2000 DIE DISSERTATION WURDE AM 19.01.2000 BEI DER UNIVERSITAET DER
BUNDESWEHR MUENCHEN EINGEREICHT UND DURCH DEN FACHBEREICH LUFT- UND
RAUMFAHRTTECHNIK AM 16.05.2000 ANGENOMMEN. DER DRUCK DIESER ARBEIT WURDE
DURCH HAUSHALTSMITTEL DER UNIVERSITAET DER BUNDESWEHR MUENCHEN GEFOERDERT.
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 9 1.1 POSITRONENQUELLE 11 1.2 MODERATION
11 1.3 IMPLANTATIONSPROFIL 12 1.4 DIFFUSION 14 1.5 ABSCHAETZUNG EINES
MINIMALEN POSITRONENSTRAHLFOKUS 15 1.6 STRAHLPULSUNG MITTELS
ZEITABHAENGIGEN ELEKTRISCHEN FELDERN 16 1.7 DAS RASTERPOSITRONENMIKROSKOP
(RPM) ALS DUALES TEILCHENOPTISCHES SY- STEM 17 2 ELEKTRONENSTRAHLSYSTEM
18 2.1 ELEKTRONENSTRAHLENGANG 19 2.2 INTEGRATION DES
ELEKTRONENSTAHLSYSTEMS IN DAS RASTERPOSITRONENMIKROSKOP 22 2.3
MAGNETISCHE ABSCHIRMUNG 23 2.4 FOKUSSIERUNG VON GELADENEN TEILCHEN IN
STATISCHEN ROTATIONSSYMMETRI- SCHEN FELDERN 25 2.5 DIE PARAXIALE
NAEHERUNG 26 2.6 SPHAERISCHE ABERRATION 27 2.7 CHROMATISCHE ABERRATION 29
2.8 BERECHNUNG DES SPHAERISCHEN UND CHROMATISCHEN
ABERRATIONSKOEFFIZIENTEN 30 2.9 BERECHNUNG DES SPHAERISCHEN UND
CHROMATISCHEN ABERRATIONSKOEFFIZIEN- TEN MIT EINER ZUSAETZLICHEN
FELDLINSE 35 2.10 ZENTRIERUNG DER ELEKTRONENOPTISCHEN ABBILDUNGSELEMENTE
37 1 3 MESSWERTERFASSUNG IM REM 39 3.1 MESSSIGNAL 40 3.2
SIGNALVERARBEITUNG 43 4 TESTMESSUNGEN MIT DEM RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
48 4.1 CHIP ALS TESTOBJEKT 48 4.2 GOLDGITTER ALS TESTOBJEKT 49 4.3
VERGLEICH DER ELEKTRONENMESSUNGEN ZU BEGINN UND ZUM ENDE DER ARBEIT 53 5
AUFBAU DES RASTERPOSITRONENMIKROSKOPES 56 5.1 22 AFO-QUELLE UND 58
CO-QUELLE 58 5.2 TRANSMISSIONS- UND REFLEXIONSMODERATOR 59 5.3 DRIFTROHR
UND SAEGEZAHNBUNCHER 61 5.4 BLANKER UND HAUPTBUNCHER 62 5.5 STRAHLWEICHE
63 5.6 REMODERATOREINHEIT 70 5.7 NACHBUNCHER 71 5.8
BESCHLEUNIGUNGSSTRECKE ZWISCHEN MODERATOR UND REMODERAETOR 72 5.9
HOCHFREQUENZ VERSORGUNG UND ERZEUGUNG DES STOPP-SIGNALES FUER DIE LE-
BENSDAUERMESSUNG 74 5.10 PULSUNG DES POSITRONENSTRAHLES 75 5.11
VAKUUMSYSTEM 77 6 INBETRIEBNAHME DER PULSUNGSKOMPONENTEN 80 7
MESSWERTERFASSUNG IM RPM 87 8 TESTMESSUNGEN MIT DEM
RASTERPOSITRONENMIKROSKOP 91 2 9 GAAS-PROBE MIT ANGERITZTER OBERFLAECHE
97 9.1 POSITRONENMIKROSKOPISCHE AUFNAHMEN IN DER UMGEBUNG DER GAAS-PROBE
MIT ANGERITZTER OBERFLAECHE 98 9.2 DISKUSSION DER ERGEBNISSE 101 10
ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 104
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