Röntgenographische Untersuchungen von Si 1-x Ge x -Stranski-Krastanow-Inseln auf Silizium (001):
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 3
2 EPITAKTISCHES WACHSTUM / PROBEN 5
2.1 STRUKTURELLE ASPEKTE DES EPITAKTISCHEN WACHSTUMS 5
2.2 RELAXATIONSMECHANISMEN 6
2.3 WACHSTUMSMODEN 9'
2.4 OAS WACHSTUM VON SIGE-LNSELN AUS DER SCHMELZLOESUNG 11
2.5 UNTERSUCHTE PROBEN 12
3 METHODEN / EXPERIMENTELLES 14
3.1 ROENTGENBEUGUNGSEXPERIMENTE 14
3.2 ATOMKRAFTMIKROSKOPIE ' 23
3.3 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE 24
4 FINITE ELEMENTE RECHNUNGEN 25
4.1 FINITE ELEMENTE BERECHNUNGEN 25
4.2 FEM ZUR BERECHNUNG DES DEFORMATIONSFELDES IN MESOSKOPISCHEN
STRUKTUREN 26
5 YYBRUETE FORCE" RECHNUNGEN 27
5.1 DER STREUPROZESS 27
5.2 DYNAMISCHE THEORIE _ 29
5.3 KINEMATISCHE THEORIE 31
5.4 DISTORTED WAVE BORN APPROXIMATION 33
5.5 .BRUETE FORCE" - ANSATZ INNERHALB DER KINEMATISCHEN THEORIE 34
6 SELBSTORGANISATION VON SH.
XGEX-LNSELN AUF SILIZIUM 37
6.1 DIE DEFORMATIONSENERGIEDICHTE AN DER OBERFLAECHE IN DER
NAEHE EINER INSEL 37
6.2 LATERALE ORDNUNG BEI GERINGER INSELDICHTE 39
6.3 LATERALE ORDNUNG BEI MITTLERER INSELDICHTE 41
6.4 LATERALE ORDNUNG BEI HOHER INSELDICHTE 43
6.5 FOURIERTRANSFORMATION DER INSELPOSITIONEN 45
6.6 LATERALE ORDNUNG UND FORMFUNKTION IN GISAXS-SPEKTREN 47
6.7 LATERALE ORDNUNG WAEHREND DES WACHSTUMS 50
7 DEFORMATIONSFELDER IN FREISTEHENDEN SII.
XGEX-LNSELN AUF SILIZIUM 53
7.1 PROBE 1058: UNTERSUCHUNG ZUR MORPHOLOGIE 53
7.2 PROBE 1058: ROENTGENBEUGUNGSUNTERSUCHUNGEN MIT DER
EINFALLSRICHTUNG PARALLEL ZUR [11 QJ-RICHTUNG 54
7.3 PROBE 1005: VERGLEICH DER ROENTGENBEUGUNGSUNTERSUCHUNGEN MIT
DEN EINFALLSRICHTUNGEN PARALLEL ZU [100] UND PARALLEL ZU [100] 62
7.4 BEUGUNG BEI STREIFENDEM EINFALL UND STREIFENDEM AUSTRITT 64
7.5 DISKUSSION DER BESTIMMTEN ZUSAMMENSETZUNGSVERTEILUNG 66
7.6 SIMULATIONEN MIT MEHREREN INSELN 69
8 VERGRABENE SII-YYGE
X-STRUKTUREN 72
8.1 FE RECHNUNGEN 72
8.2 BEUGUNGSUNTERSUCHUNGEN 74
9 AUSBLICK: ANDERE SYSTEME 77
10 ZUSAMMENFASSUNG 80
11 LITERATURVERZEICHNIS 81
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