Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
2000
|
| Series: | Berichte aus der Lasertechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 |
| Physical Description: | VI, 121 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3826575644 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013247679 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010808 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 000704s2000 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 959279873 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826575644 |9 3-8265-7564-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76158308 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013247679 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-703 |a DE-91G |a DE-29T | ||
| 084 | |a ELT 285d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Sommer, Martin H. |d 1967- |e Verfasser |0 (DE-588)122316649 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik |c Martin H. Sommer |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2000 | |
| 300 | |a VI, 121 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Lasertechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtleiterplatte |0 (DE-588)4208628-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessanalyse |0 (DE-588)4136607-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Integrierte Optoelektronik |0 (DE-588)4223876-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Integrierte Optoelektronik |0 (DE-588)4223876-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mehrschichtleiterplatte |0 (DE-588)4208628-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Prozessanalyse |0 (DE-588)4136607-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009029448&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009029448 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804128010129899520 |
|---|---|
| any_adam_object | 1 |
| author | Sommer, Martin H. 1967- |
| author_GND | (DE-588)122316649 |
| author_facet | Sommer, Martin H. 1967- |
| author_role | aut |
| author_sort | Sommer, Martin H. 1967- |
| author_variant | m h s mh mhs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013247679 |
| classification_tum | ELT 285d |
| ctrlnum | (OCoLC)76158308 (DE-599)BVBBV013247679 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02105nam a22004938c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013247679</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010808 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">000704s2000 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">959279873</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826575644</subfield><subfield code="9">3-8265-7564-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76158308</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013247679</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Sommer, Martin H.</subfield><subfield code="d">1967-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)122316649</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik</subfield><subfield code="c">Martin H. Sommer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 121 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Lasertechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtleiterplatte</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208628-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136607-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Integrierte Optoelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223876-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Integrierte Optoelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223876-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mehrschichtleiterplatte</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208628-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Prozessanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136607-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009029448&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009029448</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013247679 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:42:26Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826575644 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009029448 |
| oclc_num | 76158308 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 DE-91G DE-BY-TUM DE-29T |
| owner_facet | DE-703 DE-91G DE-BY-TUM DE-29T |
| physical | VI, 121 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Lasertechnik |
| spelling | Sommer, Martin H. 1967- Verfasser (DE-588)122316649 aut Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik Martin H. Sommer Aachen Shaker 2000 VI, 121 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Lasertechnik Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 Wafer (DE-588)4294605-0 gnd rswk-swf Mehrschichtleiterplatte (DE-588)4208628-0 gnd rswk-swf Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 gnd rswk-swf Integrierte Optoelektronik (DE-588)4223876-6 gnd rswk-swf Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd rswk-swf Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Integrierte Optoelektronik (DE-588)4223876-6 s Mehrschichtleiterplatte (DE-588)4208628-0 s Wafer (DE-588)4294605-0 s Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 s Excimerlaser (DE-588)4153300-8 s Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009029448&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Sommer, Martin H. 1967- Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik Wafer (DE-588)4294605-0 gnd Mehrschichtleiterplatte (DE-588)4208628-0 gnd Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 gnd Integrierte Optoelektronik (DE-588)4223876-6 gnd Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4294605-0 (DE-588)4208628-0 (DE-588)4136607-4 (DE-588)4223876-6 (DE-588)4153300-8 (DE-588)4191584-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik |
| title_auth | Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik |
| title_exact_search | Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik |
| title_full | Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik Martin H. Sommer |
| title_fullStr | Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik Martin H. Sommer |
| title_full_unstemmed | Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik Martin H. Sommer |
| title_short | Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik |
| title_sort | multilayerbearbeitung mit excimer laserstrahlung fur die integrierte optoelektronik und sensorik |
| topic | Wafer (DE-588)4294605-0 gnd Mehrschichtleiterplatte (DE-588)4208628-0 gnd Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 gnd Integrierte Optoelektronik (DE-588)4223876-6 gnd Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| topic_facet | Wafer Mehrschichtleiterplatte Prozessanalyse Integrierte Optoelektronik Excimerlaser Lithografie Halbleitertechnologie Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009029448&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT sommermartinh multilayerbearbeitungmitexcimerlaserstrahlungfurdieintegrierteoptoelektronikundsensorik |