(1999). Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films: Proceedings of the fifth international symposium. Electrochemical Soc.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films: Proceedings of the Fifth International Symposium. Pennington, NJ: Electrochemical Soc, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films: Proceedings of the Fifth International Symposium. Electrochemical Soc, 1999.
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