Modell des anisotropen Ätzens von einkristallinem Silizium in wäßrigen KOH-Lösungen:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin
Mensch-und-Buch-Verl.
2000
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INHALT
1
EINLEITUNG
3
2
THEORIE
9
2.1
GRUNDLAGEN
10
2.1.1
THERMODYNAMISCHE
SYSTEMBESCHREIBUNG
10
2.1.2
HYPOTHESEN
ZUM
AETZMECHANISMUS
(LITERATURUEBERSICHT)
18
2.1.3
DER
AETZMECHANISMUS
ALS
STUFENAETZPROZESS
22
2.1.4
DISKUSSION
DER
REFERIERTEN
HYPOTHESEN
ZUM
AETZMECHANISMUS
32
2.2
MODELL
DER
ANISOTROPEN
STRUKTURBILDUNG
AUF
SIJIOOJ
34
2.2.1
AETZSTRUKTUREN
AN
KONVEXEN
AETZMASKENECKEN
34
2.2.2
AETZSTRUKTUREN
AN
BELIEBIG
ORIENTIERTEN
AETZMASKENKANTEN
55
2.2.3
MIKROPYRAMIDEN
AM
{100}
-AETZBODEN
61
2.2.4
DISKUSSION
DES
VORGESCHLAGENEN
MODELLS
68
3
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
71
3.1
AETZGEFAESS
71
3.2
MATERIALIEN
UND
TECHNOLOGISCHE
PARAMETER
74
3.2.1
WAESSRIGE
KOH-LOESUNG
74
3.2.2
VERWENDETES
WAFERMATERIAL
76
3.2.3
PRAEZISIONSORIENTIERUNG
DER
LPCVD-SIJN^AETZMASKEN
76
33
VORVERSUCHE
81
3.3.1
UNTERSUCHUNGEN
AN
RADIALSYMMETRISCHEN
AETZMASKENSTRUKTUREN
82
3.3.2
AETZZEITABHAENGIGKEIT
VON
ANISOTROPIEVERHAELTNIS
UND
RAUHIGKEIT
84
3.3.3
MECHANISCHE
SPANNUNGEN
AN
DER
AETZMASKENKANTE
88
3.3.4
DISKUSSION
92
3.4
AETZVERHALTEN
AN
KONVEXEN
AETZMASKENSTRUKTUREN
95
3.4.1
UNTERSUCHUNGEN
AN
RECHTECKIGEN
AETZMASKENSTRUKTUREN
95
3.4.2
UNTERSUCHUNGEN
AN
OKTAGONALEN
AETZMASKENSTRUKTUREN
102
3.4.3
GESTALT
KONVEXER
ECKEN
106
3.4.4
UNTERSUCHUNGEN
AN
BELIEBIG
ORIENTIERTEN
AETZMASKENKANTEN
116
3.4.5
DISKUSSION
132
3.5
GESTALT
DES
{100}-AETZBODENS
136
3.5.1
MIKRO-UND
MAKRORAUHIGKEIT
DES
AETZBODENS
137
3.5.2
MIKROPYRAMIDEN
139
3.5.3
DISKUSSION
151
4
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
155
5
AUSBLICK
163
6
ANHANG
167
6.1
MESSWERTAUFNAHME
167
6.2
MESSFEHLER
168
7
LITERATUR
171 |
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