Maluf, N. (2000). An introduction to microelectromechanical systems engineering. Artech House.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Maluf, Nadim. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering. Boston [u.a.]: Artech House, 2000.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Maluf, Nadim. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering. Artech House, 2000.
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