Handbook of chemical vapor deposition (CVD): principles, technology and applications
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Pierson, Hugh O. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Norwich, NY Noyes Publ. 1999
Ausgabe:2. ed.
Schriftenreihe:Materials science and process technology series
Schlagworte:
Beschreibung:XXIV, 482 S. graph. Darst.
ISBN:9780815514329
0815514328

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