Thermopneumatische planare Antriebe für Mikroaktuatoren:
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|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1999
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 21]
281 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
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INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
.
III
BEZEICHNUNGEN
UND
SYMBOLE
.
VII
ZUSAMMENFASSUNG
.
IX
1
EINLEITUNG
.
1
2
ZUM
STAND
THERMOPNEUMATISCHER
ANTRIEBSPRINZIPIEN
FUER
MIKROAKTUATOREN
2
2.
1
EIGENSCHAFTEN
UND
GEGENUEBERSTELLUNG
THERMOPNEUMATISCHER
WANDLUNGS
PRINZIPIEN
.
2
2.2
FUNKTION
UND
LEISTUNGSDATEN
VERSCHIEDENER
THERMOPNEUMATISCHER
ANTRIEBS
KONZEPTE
.
4
3
THERMOPNEUMATISCHER
BUBBLEAKTUATOR
ALS
NEUES
WIRKPRINZIP
FUER
EINEN
MEMBRANANTRIEB
.
7
3.1
WIRKPRINZIP
DES
BUBBLEANTRIEBES
.
7
3.2
VERDAMPFUNGSMECHANISMEN
AN
HEIZFLAECHEN.
8
3.2.1
KEIMBILDUNG
UND
DAMPFBLASENWACHSTUM
.
10
3.2.2
FILMVERDAMPFUNG
.
15
3.3
ELASTOMECHANIK
DER
ANTRIEBSMEMBRAN
.
19
3.3.1
AUSLENKUNG
DER
DRUCKBELASTETEN,
ALLSEITIG
EINGESPANNTEN
QUADRATISCHEN
ANTRIEBSEMBRAN
.
20
3.3.2
SCHWINGUNGSVERHALTEN
DER
ANTRIEBSMEMBRAN
.
22
3.4
ZUSAMMENFASSUNG.
.
28
4
AUFBAU
UND
HERSTELLUNG
DER
ANTRIEBSEINHEITEN
.
30
4.1
BUBBLEANTRIEB
MIT
FUNKTIONSSCHICHTEN
.
30
4.2
PROZESSIERUNG
DER
ANTRIEBSELEMENTE
.
32
4.3
PROZESSIERUNG
DER
ANTRIEBSMEMBRAN
.
34
4.4
MONTAGE
UND
VERBINDUNGSTECHNIK.
35
5
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
.
37
5.
1
MESSAUFBAU
ZUR
ZEITAUFGELOESTEN
UNTERSUCHUNG
VON
DAMPFBLASENENTSTEHUNG
UND
MEMBRANAUSLENKUNG
.
37
5.2
PHASENWANDLUNG
DURCH
DAMPFBLASENENTSTEHUNG.
.
42
5.2.1
STATISCHE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
BLASENVERDAMPFUNG
.
44
5.2.2
FREQUENZGANG
DER
DAMPFBLASENGROESSE
UND
EINFLUSSFAKTOREN
.
46
5.2.3
INTERFEROMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
MEMBRANAUSLENKUNG
.
50
5.3
PHASENWANDLUNG
MITTELS
FILMVERDAMPFUNG
.
54
5.3.1
DAMPFFILMLEBENSDAUER
IN
UNTERSCHIEDLICHEN
VERDAMPFUNGSMEDIEN
.
55
5.3.2
EINFLUSS
DER
HEIZPHASE
AUF
DEN
VERDAMPFUNGSPROZESS
.
61
5.3.2.1
VERDAMPFUNG
MIT
VORHEIZPULSEN
.
61
5.3.2.2
VARIATION
DER
HEIZPULSBREITE.
64
5.3.3
INTERFEROMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
MEMBRANAUSLENKUNG
.
66
5.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
69
6
ANWENDUNGSBEISPIELE
.
71
7
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
UND
AUSBLICK
.
75
7.
1
GEGENUEBERSTELLUNG
DER
AKTOREIGENSCHAFTEN
BEI
UNTERSCHIEDLICHEN
PHASENWANDLUNGSMECHANISMEN
.
75
7.2
LEISTUNGSMERKMALE
DES
BUBBEIANTRIEBES
IM
VERGLEICH
MIT
ANDEREN
ANTRIEBSPRINZIPIEN
FUER
MIKRO-MEMBRANANTRIEBE
.
80
LITERATURVERZEICHNIS
.
84 |
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