Netzwerksimulation mikromechanischer Systeme:
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| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
1999
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Berichte aus der Mikromechanik
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
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| ISBN: | 3826568370 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
1.1 SIMULATIONS WERKZEUGE IN DER MIKROMECHANIK 2
1.1.1 FELDBERECHNUNGSPROGRAMME 2
1.1.2 NETZWERKSIMULATOREN 3
1.1.3 SIGNALFLUSSSIMULATOREN 4
1.2 ZIEL UND INHALT DIESER ARBEIT 5
1.3 BEMERKUNGEN ZUR SCHREIBWEISE 7
2 GRUNDLAGEN DER MODELLIERUNG 8
2.1 MECHANISCHER KNOTENPUNKT 8
2.2 MODELLSCHNITTSTELLE 10
2.3 THEORETISCHE GRUNDLAGEN 11
3 STARRE KOERPER 13
3.1 GRUNDLAGEN DER MODELLIERUNG 13
3.2 GEOMETRISCHE EIGENSCHAFTEN DES STARRKOERPERS 13
3.3 MODELLIERUNG STARRER KOERPER 15
4 BIEGEBALKEN 19
4.1 GRUNDLAGEN DER MODELLIERUNG 19
4.2 GEOMETRISCHE EIGENSCHAFTEN DES BALKENELEMENTS 19
4.3 MODELLIERUNG EINES BALKENELEMENTS 22
4.3.1 DER POSITIONSVEKTOR X 23
4.3.2 DER BESCHLEUNIGUNGSVEKTOR
A
X 29
4.3.3 DIE BERECHNUNG DER KNOTENKRAEFTE UND MOMENTE 30
4.4 VERIFIKATION 31
4.4.1 STATISCHE AUSLENKUNG 31
4.4.2 VERIFIKATION DES FREQUENZVERHALTENS 33
IV INHALTSVERZEICHNIS
5 KAMMSTRUKTUREN 37
5.1 EINFUEHRUNG 37
5.2 GRUNDLAGEN DER MODELLIERUNG 39
5.3 KATALOG DER KONFORMEN ABBILDUNGEN 40
5.3.1 PROBLEM 1 41
5.3.2 PROBLEM 2 44
5.3.3 PROBLEM 3 45
5.3.4 PROBLEM 4 47
5.4 DIE BERECHNUNG DER SEGMENTKAPAZITAETEN 50
5.4.1 RAUMBEREICH I?I 52
5.4.2 RAUMBEREICH R
2
54
5.4.3 RAUMBEREICH ** 59
5.4.4 RAUMBEREICH *
4
59
5.4.5 RAUMBEREICH *
5
61
5.5 VERIFIKATION DER KAPAZITAETSBERECHNUNG 62
5.5.1 VERIFIKATION MIT DER FINITEN-FNTEGRALE-METHODE 62
5.5.2 VERIFIKATION MIT DER BOUNDARY-ELEMENT-METHODE 66
5.6 DIE BERECHNUNG DER KRAEFTE AM BEWEGLICHEN FINGER 67
5.6.1 KRAFT IN Z*-RICHTIMG 67
5.6.2 KRAFT IN */^-RICHTUNG 68
5.6.3 KRAFT IN ZJ-RICHTUNG 74
5.7 VERIFIKATION DER KRAFTBERECHNUNG 76
5.7.1 KRAFT IN Z.-RICHTUNG 77
5.7.2 KRAEFTE IN Y
3
- UND ..-RICHTUNG 77
5.8 DIE BERECHNUNG DER AUSGANGSGROESSEN 78
5.8.1 GERADE KAMMSTRUKTUR MIT UNGETEILTEM STATORKAMM 78
5.8.2 GEKRUEMMTE KAMMSTRUKTUR MIT UNGETEILTEM STATORKAMM 82
5.8.3 GERADE KAMMSTRUKTUR MIT GETEILTEM STATORKAMM 84
6 DETEKTIONSELEKTRODEN 86
6.1 EINFUEHRUNG 86
6.2 GRUNDLAGEN DER MODELLIERUNG 87
6.3 DIE BERECHNUNG DER SEGMENTKAPAZITAET 89
6.4 DIE BERECHNUNG DER SEGMENTKRAFT 91
6.5 VERIFIKATION DER KAPAZITAETS- UND KRAFTBERECHMMG 91
6.6 DIE BERECHNUNG DER AUSGANGSGROESSEN 92
INHALTSVERZEICHNIS V
7 ANWENDUNGSBEISPIELE 96
7.1 ANTRIEBSSTRUKTUR 96
7.2 DREHRATENSENSOR 99
7.3 BESCHLEUNIGUNGSSENSOR 104
8 ZUSAMMENFASSUNG 106
A MODELLBESCHREIBUNG 108
A.L ALLGEMEINE KONVENTIONEN 108
A.L.L REFERENZKOORDINATENSYSTEM 108
A.1.2 MECHANISCHE SCHNITTSTELLE 109
A.1.3 OBERFLAECHENKRUEMMUNGEN 110
A.2 STARRE KOERPER 110
A.2.1 STARRER KOERPER AUS RECHTECKSEGMENTEN 111
A.2.2 STARRER KOERPER AUS KREISSEGMENTEN 114
A.3 BIEGEBALKEN 117
A.4 KAMMSTRUKTUREN 119
A.4.1 GERADE KAMMSTRUKTUR MIT UNGETEILTEM STATORKAMM 119
A.4.2 GEKRUEMMTE KAMMSTRUKTUR MIT UNGETEILTEM STATORKAMIN 121
A.4.3 GERADE KAMMSTRUKTIIR MIT GETEILTEM STATORKAMM 123
A.5 DETEKTIONSELEKTRODEN 125
A.5.1 RECHTECKSEGMENTELEKTRODEN 125
A.5.2 KREISSEGMENTELEKTRODEN 127
LITERATURVERZEICHNIS 129
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