Räumliches Abstrahlverhalten und optische Auskopplung von Dünnschichtstrukturen mit Luminophoren aus SrS:Ce und ZnS:Mn:
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1998
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1
INHALTSVERZEICHNIS
ABSTRACT
KURZFASSUNG
INHALTSVERZEICHNIS 1
1. EINLEITUNG 4
2. MODELL DES ABSTRAHLVERHALTENS DOTIERTER ANORGANISCHER 8
SCHICHTLUMINOPHORE
2.1 MIKROSKOPISCHES MODELL: ABSTRAHLUNG DER QUELLSCHICHT IN EINE 8
UMGEBUNG GLEICHER BRECHZAHL
2.1.1 SUPERPOSITION ABSTRAHLENDER LEUCHTZENTREN 8
2.1.2 ABSORPTION DURCH NACHBARZENTREN UND REEMISSION 11
2.1.3 ABSORPTIONSLAENGEN IM LUMINOPHOR 15
2.1.4 LUMINESZENZ UND STREUUNG 18
2.1.5 LAMBERT-ABSTRAHLUNG 18
2.2 LICHTUEBERGANG VON EINER DUENNEN QUELLSCHICHT IN EINE DIELEK- 20
TRISCHE UMGEBUNG MIT NIEDRIGERER BRECHZAHL
2.2.1 EINFLUESSE AUF DEN LICHTUEBERGANG 20
2
.2.1.1 BRECHZAHLVERHAELTNIS 20
2.2.1.2 SCHICHTDICKE 21
2.2.1.3 LUMINOPHOROBERFLAECHE 22
2.2.1.4 SCHICHTSYSTEM ZWISCHEN LUMINOPHOR UND 23
SUBSTRAT
2.2.2 SUMMARISCHE BEWERTUNG - AUSKOPPLUNGSWIRKUNGSGRAD 24
2.3 ABSTRAHLUNGSMUSTER - TRANSFORMATION IN DAS FERNFELD 26
2.3.1 DIREKTER ANTEIL 26
2 3 2 KANTENANTEIL UNTER DEM EINFLUSS EINES SUBSTRATES MIT AB- 27
SORBIERENDER AUFLAGE
2.3.2.1 LAMBERT-QUELLE AN EINEM SUBSTRAT 27
2 3.2.2 PUNKTQUELLE AN EINEM SUBSTRAT 28
2.4 FOLGERUNGEN FUER DIE CHARAKTERISIERUNG VON QUELLEN MIT ANORGA- 29
NISCHEN SCHICHTLUMINOPHOREN
3. EXPERIMENTE ZUM OPTISCHEN AUSKOPPLUNGSVERHAITEN 31
3.1 PRAEPARATION DER DUENNSCHICHTSYSTEME
31
3.1.1 GESAMTAUFBAU DER HERGESTELLTEN PROBEN 31
3.1.2 EINGESETZTES ABSCHEIDUNGSVERFAHREN 33
3.1.3 LITHOGRAPHISCHE STRUKTURIERUNG UND KONTAKTIERUNG 33
3.1.4 ELEKTROOPTISCHES VERHALTEN DER VERWENDETEN LUMI- 34
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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2
NOPHORMATERIALIEN UM DIE SCHWELLSPANNUNG
3.1.5 ZUGANG ZU INVERTIERTEN STRUKTUREN 36
3 2 METHODENVERGLEICH ANHAND TYPISCHER ERGEBNISSE 38
3.2.1 LATERALES ABTASTEN 38
3.2.1.1 SPALT-ABTASTUNG 38
3.2.1.2 CCD-VERFAHREN 40
3.2.1.3 BEWERTUNG DES LATERALEN ABTASTVERFAHRENS 41
3.2 2 EXPERIMENTE MIT IMMERSIONSFLUESSIGKEIT UND EINKERBUNGEN 43
3.2.2.1 SCHICHTWELLENLEITUNG UND HALO-EFFEKT 43
3 2.2.2 MESSUNG INTERNER LICHTANTEILE 44
3 2.2.3 ERFASSUNG VON STREUANTEILEN 48
3.2.3 BESTIMMUNG DER WINKELABHAENGIGEN ABSTRAHLUNG 49
3.2.4 EIGNUNG DER DISKUTIERTEN VERFAHREN ZUR CHARAKTERI- 50
SIERUNG ELEKTROLUMINESZIERENDER STRUKTUREN
3.3 ERGEBNISSE FUER UNTERSUCHUNGEN AN SRS CE- UND ZNS:MN- 51
DUENNSCHICHT-ELEKTROLUMINESZENZELEMENTEN
3.3 1 UNTERSCHIEDE IN DER ABSTRAHLUNG 51
3 3 2 CHARAKTERISIERUNG DES AUSKOPPLUNGSWIRKUNGSGRADES 53
UND DER AUSSTREUUNG MIT EINEM MESSVERFAHREN: WINKEL
ABTASTUNG VON ABSTRAHLUNGSMUSTERN
3.4 BESTIMMUNG DER AUSKOPPLUNGSEIGENSCHAFTEN MITTELS WINKEL- 56
ABTASTEN VON ABSTRAHLUNGSMUSTERN
3 4 1 VERFAHREN ZUR QUANTITATIVEN ANALYSE VON ABSTRAHLUNGS- 57
MUSTERN
3 4 11 TRENNUNG DER EMISSIONSANTEILE 57
3.4 12 DEFINITION DES OPTISCHEN AUSKOPPLUNGSWIR- 61
KUNGSGRADES
3.4.1.3 METHODISCHE GRENZEN 63
3.4.2 MESSAUFBAU ZUR WINKELABTASTUNG VON ABSTRAHLUNGS- 65
MUSTERN
3.4.2.1 MESSSYSTEM 65
3.4.2.2 PROBENHALTERUNG UND -ANSTEUERUNG 66
3.4.23 DETEKTOR 67
3.4.3 MESSERGEBNISSE: ABSTRAHLUNGSMUSTER 69
3.4.3.1 ZNSMN-STRUKTUREN 70
3.4.32 SRS:CE-STRUKTUREN 70
3.4.4 BESTIMMUNG DES AUSKOPPLUNGSWIRKUNGSGRADES 73
3.4.4.1 ALGORITHMUS 73
3.4.42 ERGEBNISSE 76
3.4.5 BESTIMMUNG WEITERER AUSKOPPLUNGSEIGENSCHAFTEN 77
3.4.5.1 DIFFERENTIELLER STREUGEWINN 78
3.4.5.2 INTEGRALER STREUGEWINN 79
3.4.5 3 AUSKOPPLUNGSWIRKUNGSGRAD INVERTIERTER 80
STRUKTUREN
3.4.6 DISKUSSION: AUSKOPPLUNGSWIRKUNGSGRAD UND STREU- 82
GEWINNE
3.4.7 FOLGERUNGEN FUER MATERIALCHARAKTERISIERUNG UND SCHICHT- 86
PRAEPARATION
3
BERECHNETE AUSKOPPLUNGSWIRKUNGSGRADE
88
4.1 BERECHNUNG VON LICHTLEITWERTEN UND METHODE DER HUYGENS-
HELMHOLTZ-INVARIANTEN
4.1.1 LAMBERT-STRAHLER
4.1.2 PUNKTSTRAHLER
4.2 VERGLEICH MIT DEN MESSERGEBNISSEN
5. FOLGERUNGEN FUER MATERIALBEWERTUNG UND DISPLAV-
TECHNOLOGIE
6. ZUSAMMENFASSUNG
7. AUSBLICK
8. ANHANG
103
107
109
8 1 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
8 2 LITERATURVERZEICHNIS
83 SACHVERZEICHNIS
8.4 RECHNUNGEN
TABELLARISCHER LEBENSLAUF DES VERFASSERS
127 |
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