Chemische Gasphasenabscheidung oxidischer Schichten:
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| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1999
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
566 |
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INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
VII
1
EINLEITUNG
1
1.1
SUPRALEITER
3
1.2
HOCHTEMPERATURSUPRALEITER
YBAJCUJOJ.,
(YBCO)
5
1.3
SUBSTRATE
7
1.4
ZWISCHENSCHICHTEN
12
1.4.1
Y
TTRIUM-STABILISIERTES
ZIRKONDIOXID
(YSZ)
12
1.4.2
CERDIOXID
(CEO
2
)
14
1.5
VERFAHREN
DER
CHEMISCHEN
GASPHASENABSCHEIDUNG
(CVD)
17
1.5.1
PRECURSOREN
18
1.5.2
UEBERFUEHRUNG
DER
AUSGANGSVERBINDUNGEN
IN
DIE
GASPHASE
20
1.5.3
EINFLUSS
DER
REAKTORART
AUF
DEN
TRANSPORT
DER
VERDAMPFTEN
REAKTANDEN
21
1.5.4
KINETIK
DER
ABSCHEIDUNG
AUF
DEM
SUBSTRAT
22
1.5.5
EINFLUSS
DES
GESAMTDRUCKES
24
1.6
SCHICHTENTSTEHUNG
UND
SCHICHTWACHSTUM
25
1.6.1
KEIMBILDUNG
25
1.6.2
SCHICHTWACHSTUM
31
1.6.3
ENTSTEHUNG
VON
TEXTUREN
WAEHREND
DES
SCHICHTWACHSTUMS
35
2
SCHICHTHERSTELLUNG
UND
-CHARAKTERISIERUNG
40
2.1
VERSUCHSAUFBAU
UND
ARBEITSWEISE
DER
ANLAGE
40
2.1.1
BESCHREIBUNG
DES
REAKTORS
UND
SEINER
VERSORGUNGSEINRICHTUNGEN
40
2.1.2
PRINZIP
DER
GASPHASENABSCHEIDUNG
MITTELS
AEROSOLERZEUGUNG
44
2.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
SCHICHTEN
45
2.2.1
BESTIMMUNG
DER
PHASENZUSAMMENSETZUNG
MITTELS
ROENTGENBEUGUNG
45
2.2.2
BESTIMMUNG
DER
SCHICHTORIENTIERUNG
MIT
DEM
TEXTURDIFFRAKTOMETER
47
2.2.3
ABBILDUNG
VON
SCHICHTOBERFLAECHE
UND
-AUFBAU
MIT
DEM
RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
49
2.2.4
CHEMISCHE
ANALYSE
MIT
EDX
UND
WDX
51
2.2.5
TIEFENVERTEILUNG
DER
ELEMENTE
MIT
DER
GLIMMENTLADUNGSSPEKTROSKOPIE
52
2.2.6
ERMITTLUNG
DES
BINDUNGSTYPS
UND
DER
ELEMENTKONZENTRATION
MIT
XPS
52
2.2.7
BESTIMMUNG
DER
SCHICHTRAUHEIT
MIT
INTERFERENZ
UND
ATOMKRAFTMIKROSKOP
53
2.2.8
MESSUNG
DER
SPRUNGTEMPERATUR
UND
DER
KRITISCHEN
STROMDICHTE
55
3
ABSCHEIDUNG
OXIDISCHER
SCHICHTEN
56
3.1
YTTRIUMSTABILISIERTES
ZIRKONDIOXID
56
3.1.1
FESTLEGUNG
DER
ABSCHEIDUNGSBEDINGUNGEN
UND
LOESUNGSZUSAMMENSETZUNG
58
3.1.2
UMBAU
DES
REAKTORS
UND
CHARAKTERISIERUNG
DER
SCHICHTEN
69
3.1.3
ABSCHEIDUNG
AUF
BIAXIAL
ORIENTIERTEN
SUBSTRATEN
78
3
J
CERDIOXID
G3
3.2.1
DARSTELLUNG
VON
CEO
2
-SCHICHTEN
MIT
VERSCHIEDENEN
PRECURSOREN
87
VI
3.2.2
ABSCHEIDUNG
AUF
BIAXIAL
ORIENTIERTEN
SUBSTRATEN
101
33
ABSCHEIDUNG
VON
DOPPELSCHICHTEN
YSZ/CEO
2
4
EIGNUNG
ALS
ZWISCHENSCHICHTEN
FUER
DIE
YBCO-ABSCHEIDUNG
107
108
4.1
REFERENZBESCHICHTUNG
AUF
OXIDISCHEN
EINKRISTALLEN
UND
SILBER
4.2
ABSCHEIDUNG
AUF
METALLISCHEN
SUBSTRATEN
OHNE
VORZUGSORIENTIERUNG
4.3
ABSCHEIDUNG
VON
YBCO
AUF
OXIDISCHEN
EINKRISTALLEN
MIT
EINER
PUFFERSCHICHT
4.4
ABSCHEIDUNG
AUF
GEPUFFERTEN
BIAXIAL
TEXTURIERTEN
METALLEGIERUNGEN
108
HO
113
115
5
ZUSAMMENFASSUNG
119
6
ANHANG
124
7
LITERATURVERZEICHNIS
126 |
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| author | Krellmann, Mathias |
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