Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Erlangen
Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung
1999
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| Schriftenreihe: | Physik mikrostrukturierter Halbleiter
11 |
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