Zusammenhang zwischen den MOVPE-Züchtungsparametern und der Überstrukturbildung in epitaktischen (GaIN)P-Schichten:
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5
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG.-.7
2
GRUNDLAGEN.
10
2.1 KRISTALLSTRUKTUR.10
2.2 DIE (001 )-OBERFLAECHE.13
2.2.1 OBERFLAECHENREKONSTRUKTIONEN.14
2.2.2 OBERFLAECHENMORPHOLOGIE.'.18
2.3 BILDUNG DER CUPT
B - UEBERSTRUKTUR.20
2.3.1 MODELL DER BILDUNG DER CUPTB - UEBERSTRUKTUR.21
2.3.2 ZUSAMMENHANG ZWISCHEN UEBERSTRUKTURBILDUNG UND EPITAXIEPROZESS.23
2.4 CHARAKTERISTISCHE EIGENSCHAFTEN VON (GALN)P.24
2.4.1 BANDSTRUKTUR UND OPTISCHE EIGENSCHAFTEN.25
2.4.1.1 EINFLUSS DER TETRAGONALEN VERZERRUNG AUF DIE BANDSTRUKTUR.25
2.4.1.2 ORDNUNGSINDUZIERTE AENDERUNGEN DER BANDSTRUKTUR.27
2.4.1.3 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN. 30
2.4.2 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN.31
2.5 ZUSAMMENFASSUNG.31
3 ZUECHTUNGS- UND CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN.33
3.1 DIE METALLORGANISCHE GASPHASENEPITAXIE.33
3.2 TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE.34
3.2.1 WECHSELWIRKUNG DER ELEKTRONEN MIT DEM KRISTALL.36
3.2.2 BILDENTSTEHUNG IM ELEKTRONENMIKROSKOP.37
3.2.3 PROBENPRAEPARATION.39
3.2.3.1 QUERSCHNITTSPRAEPARATION.39
3.2.3.2 DRAUFSICHTSPRAEPARATION.39
3.3 ROENTGENBEUGUNG.40
3.3.1 DOPPELKRISTALLDIFFRAKTOMETRIE.40
3.3.2 KRISTALLSTRUKTURANALYSE.41
3.4 PHOTOLUMINESZENZ.42
3.5 ATOMARE KRAFTMIKROSKOPIE.43
4 ZUSAMMENHANG ZWISCHEN ZUECHTUNGSPARAMETERN UND DOMAENENGEOMETRIE.45
4.1 EINFLUSS DER ZUECHTUNGSPARAMETER AUF DIE DOMAENENDICKE.45
4.1.1 ENTHALTEN DIE (GALN)P-SCHICHTEN UNGEORDNETE BEREICHE?.46
4.1.2 DIE ZUECHTUNGSTEMPERATUR TG.49
4.1.3 DIE SUBSTRATFEHLORIENTIERUNG.50
4.1.4 DAS V/M-VERHAELTNIS.55
4.2 EINFLUSS DER ZUECHTUNGSPARAMETER AUF DIE GEORDNETEN VOLUMINA.57
4.2.1 BESCHREIBUNG DER MESSMETHODE.57
4.2.2 ERGEBNISSE.58
4.3 OBERFLAECHENMORPHOLOGIE UND DOMAENENDICKE.59
4.3.1 STUFENAUFLAUFEN AUF (001) (GALN)P.60
4.3.2 KORRELATION ZWISCHEN SUPERSTUFEN UND ANTIPHASENGRENZEN.64
5 ZUSAMMENHANG ZWISCHEN ZUECHTUNGSPARAMETERN UND ORDNUNGSGRAD
70
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/958026165
6
INHALTSVERZEICHNIS
5.1 PHOTOLUMINESZENZEXPERIMENTE.70
5.1.1 DIE ZUECHTUNGSTEMPERATUR TG.70
5.1.2 DIE SUBSTRATFEHLORIENTIERUNG.72
5.1.3 DAS V/UEI-VERHAELTNIS.74
5.1.4 VERGLEICH ZWISCHEN 4K- UND
RAUMTEMPERATUR-PHOTOLUMINESZENZSPEKTREN.75
5.1.5 DER DOTIERSTOFFEINBAU.76
5.1.6 MECHANISMEN DER LADUNGSTRAEGERREKOMBINATION.78
5.2 BEUGUNGSEXPERIMENTE.78
5.2.1 TEM-UNTERSUCHUNGEN.79
5.2.2 ROENTGENBEUGUNG. 79
5.2.2.1 DOPPELKRISTALLDIFFRAKTOMETRIE.
)
.79
5.2.2.2 KRISTALLSTRUKTURANALYSE.80
6 NEUE UEBERSTRUKTUREN IN
(GALN)P.
84
6.1 DOMAENENDICKE UND UEBERSTRUKTUR.84
6.1.1 AENDERUNG DER SYMMETRIE MIT DER DOMAENENDICKE.84
6.1.2 EINFLUSS DER SYMMETRIEAENDERUNG AUF DIE ELEKTRONISCHE
BANDSTRUKTUR.88
6.2 UEBERSTRUKTUR IN [001]-RICHTUNG?.92
\
7 VORSTELLUNGEN ZUM
WACHSTUMSMECHANISMUS.
95
8 ZUSAMMENFASSUNG UND
AUSBLICK.
98
9
LITERATUR.102
HAEUFIG VERWENDETE SYMBOLE UND
ABKUERZUNGEN.110 |
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