Miniaturisierte Spiegelzeile zur Auflösungserhöhung bei Diodenarray-Hadamard-Transformations-Spektrometern:
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| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1999
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
305 Fortschritt durch Mikrotechnik |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
EINES
HADAMARD
TRANSFORMATIONS-SPEKTROMETERS
4
2.1
EINLEITUNG
4
2.2
GRUNDGLEICHUNGEN
DER
HADAMARD-TRANSFORMATIONS-SPEKTROSKOPIE
6
2.3
ERHOEHUNG
DES
SIGNAL-RAUSCHVERHAELTNISSES
8
2.3.1
HADAMARD-MATRIX
HYY
9
2.3.2
S-MATRIX
10
3
ERHOEHUNG
DES
AUFLOESUNGSVERMOEGENS
13
3.1
AUFLOESUNG
EINES
SPEKTROMETERS
13
3.2
AUFLOESUNG
EINES
DIODENARRAY-SPEKTROMETERS
15
3.3
MODELL
ZUR
ERHOEHUNG
DER
AUFLOESUNG
EINES
DIODENARRAY-HADAMARD
TRANSFORMATIONS-SPEKTROMETERS
18
4
MODELLRECHNUNGEN
21
4.1
SIMULATION
ZUR
ERHOEHUNG
DES
AUFLOESUNGSVERMOEGENS
23
4.2
SIMULATION
ZUR
VERBESSERUNG
DES
SIGNAL-RAUSCHVERHAELTNISSES
28
5
OPTISCHE
AUSLEGUNG
DES
DOPPELARRAY-HADAMARD
TRANSFORMATIONS-SPEKTROMETERS
33
5.1
ABERRATIONEN
34
5.2
ANAMORPHISCHE
VERGROESSERUNG
37
5.3
OPTISCHES
DESIGN
DES
SPEKTROMETERS
37
5.3.1
BERECHNUNG
DES
SPEKTROMETERS
38
5.3.2
SIMULATION
DER
ABBILDUNGSEIGENSCHAFTEN
40
6
KONZEPT
DER
EINGANGSZEILE
43
6.1
SCHALTBARE
SPIEGELZEILE
44
6.2
BEKANNTE
SPIEGELSYSTEME
44
6.3
MINIATURISIERTE
SPIEGELZEILE
DES
IMM
46
6.3.1
ELASTOSTATISCHE
GRUNDGLEICHUNGEN
46
6.3.2
SPIEGEL
AN
TORSIONSARMEN
47
6.3.3
SPIEGEL
AN
BIEGEARMEN
51
6.3.4
KAPAZITAETEN
UND
STROMFLUSS
DER
SPIEGEL
54
INHALTSVERZEICHNIS
V
7
HERSTELLUNG
DER
MINIATURISIERTEN
SPIEGELZEILE
55
7.1
UNTERSUCHUNG
VON
TEILPROZESSEN
55
7.1.1
TESTMASKE
56
7.1.2
ERZEUGUNG
DER
OPFERSCHICHT
57
7.1.3
SPIEGELSCHICHTEN
AUS
ALUMINIUM
59
7.1.4
SPIEGELSCHICHTEN
AUS
SILIZIUMNITRID
61
7.2
HERSTELLUNG
VON
SPIEGELN
AUS
EINEM
3-SCHICHTSYSTEM
63
7.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
SPIEGEL
AUS
DEM
3-SCHICHTSYSTEM
65
7.3.1
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
DER
SPIEGELZEILE
66
7.3.2
PLANARITAET
DER
SPIEGELFLAECHE
UND
STRESS
DER
BIEGEARME
68
7.3.3
SCHALTSPANNUNG
UND
SCHALTWINKEL
DER
SPIEGEL
72
7.4
HERSTELLUNG
VON
SPIEGELN
AUS
EINEM
4-SCHICHTSYSTEM
74
7.5
CHARAKTERISIERUNG
DER
SPIEGEL
AUS
DEM
4-SCHICHTSYSTEM
77
7.5.1
PLANARITAET
DER
SPIEGELFLAECHE
UND
STRESS
DER
BIEGEARME
77
7.5.2
SCHALTSPANNUNG
UND
SCHALTWINKEL
DER
SPIEGEL
81
7.6
ZUSAMMENFASSUNG
DER
SPIEGELHERSTELLUNG
83
8
CHARAKTERISIERUNG
DES
HADAMARD-SPEKTROMETERS
MIT
MINIATURISIERTER
SPIEGELZEILE
85
8.1
AUFBAUDESSPEKTROMETERS
85
8.2
MESSUNG
DES
SPEKTRUMS
EINER
QUECKSILBERDAMPFLAMPE
86
8.3
AUSWERTUNG
DER
MESSERGEBNISSE
88
8.3.1
ABERRATIONEN
DES
AUFBAUS
89
8.3.2
MESSUNGEN
MIT
4
SPIEGELN
89
8.3.3
MESSUNGEN
MIT
15
SPIEGELN
93
8.3.4
WELLENLAENGENKALIBRIERUNG
DER
SPIEGELZEILE
96
8.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
MESSUNGEN
98
9
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
100
10
AUSBLICK
104
LITERATURVERZEICHNIS
105 |
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