Gettering and defect engineering in semiconductor technology: [proceedings of the 8th International Autumn Meeting on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology] ; Höör, Schweden, September 25 - 28, 1999
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Uetikon-Zürich Scitec Publ. 1999
Schriftenreihe:Diffusion and defect data Pt. B, Solid state phenomena ; 69/70
Schlagworte:
Beschreibung:XVI, 610 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3908450470

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