Tews, R. (1998). PECVD mit alternativen Dotanden für die Herstellung von Silizium-Dünnschichtbauelementen.
Chicago Style (17th ed.) CitationTews, René. PECVD Mit Alternativen Dotanden Für Die Herstellung Von Silizium-Dünnschichtbauelementen. 1998.
MLA (9th ed.) CitationTews, René. PECVD Mit Alternativen Dotanden Für Die Herstellung Von Silizium-Dünnschichtbauelementen. 1998.
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