Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern:
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Bibliographic Details
Main Author: Müller, Klaus-Dieter (Author)
Format: Thesis Book
Language:German
Published: Karlsruhe FZKA 1999
Edition:Als Ms. gedr.
Series:Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 6254
Subjects:
Physical Description:III, 83 S. Ill., graph. Darst.

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