APA (7th ed.) Citation

Müller, K. (1999). Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern (Als Ms. gedr.). FZKA.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Müller, Klaus-Dieter. Herstellung Von Beweglichen Metallischen Mikrostrukturen Auf Prozessierten Siliziumwafern. Als Ms. gedr. Karlsruhe: FZKA, 1999.

MLA (9th ed.) Citation

Müller, Klaus-Dieter. Herstellung Von Beweglichen Metallischen Mikrostrukturen Auf Prozessierten Siliziumwafern. Als Ms. gedr. FZKA, 1999.