Die chemische Gasphasenabscheidung von Siliciumnitrid: Modellentwicklung und Anwendung
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
1999
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Berichte aus der Verfahrenstechnik
|
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| Physical Description: | III, 189 S. Ill., graph. Darst. |
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1
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
1
1.1
AUFGABENSTELLUNG
.
1
1.2
CHEMISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG.YY.2
13
REAKTIONSSYSTEM.
4
2.
VERSUCHSAUFBAU
.
8
2.1
VERSUCHSANLAGE.
.
8
2.1.1
DOSIERUNG
.
11
2.1.2
HEISSWANDREAKTOR
.
12
2.1.3
DRUCKREGELUNG
UND
ABGASREINIGUNG
.
12
2.1.4
ONLINE-WAEGESYSTEM
.
14
2.1.5
BETRIEB
DER
ANLAGE
.
17
2.2
PROBENANORDNUNG
.
18
2.2.1
PROBENANORDNUNG
ZUR
MODELLENTWICKLUNG
.
18
2.2.2
PROBENANORDNUNG
ZUR
WERKSTOFFBESCHICHTUNG
.
21
23
GEOMETRIE
DER
EDUKTDOSIERUNG
.
25
3.
MODELLENTWICKLUNG
.
30
3.1
MECHANISMUS
UND
MODELLVORSCHLAEGE
AUS
DER
LITERATUR
.
30
3.2
WERKZEUGE
FUER
SIMULATION
UND
MODELLIERUNG
.
38
3.2.1
FASTEST
2D
.
38
3.2.2
SIMUSOLV
.
39
3.3
VERSUCHSBEDINGUNGEN
.
40
3.3.1
VOLUMENSTROEME,
STROEMUNGSGESCHWINDIGKEITEN
UND
DRUCK
.
40
3.3.2
TEMPERATURPROFILE
DER
OBERFLAECHEN
.
42
3.3.3
GASTEMPERATUREN
.
46
3.3.4
ZUSAMMENSTELLUNG
ALLER
VERSUCHSBEDINGUNGEN
.
49
3.4
ERGEBNISSE
VON
MESSUNG
UND
MODELLIERUNG
.
50
3.4.1
PLAETTCHEN
VERSUCHE
.
51
3.4.2
STABVERSUCHE
.
61
3.4.3
SCHUETTUNGSVERSUCHE
.
73
3.4.4
ZUORDNUNG
UND
GEWICHTUNG
DER
EINFLUESSE
AUF
DIE
ABSCHEIDUNG
.
88
UE
INHALTSVERZEICHNIS
33
REAKTIONSMECHANISMUS
.
91
3.6
FORMALKINETISCHER
MODELLANSATZ
.
96
3.6.1
REAKTIONSSCHRITTE
.
96
3.6.2
REAKTORMODELL
.
99
3.6.3
BEDINGUNGEN
UND
ANNAHMEN
FUER
DIE
GESAMTABSCHEIDUNG
.
102
3.6.4
BEDINGUNGEN
UND
ANNAHMEN
FUER
DIE
YYGETRENNTE
"
ABSCHEIDUNG
.
106
3.6.5
ERGEBNIS
DER
PARAMETEROPTIMIERUNG
.
107
3.6.6
SCHWIERIGKEITEN
BEIM
EINSATZ
VON
SIMUSOLV
.
112
3.6.7
DISKUSSION
DER
MESSFEHLER
.
115
3.7
RESUEMEE
DER
MODELLIERUNG
.
119
4.
KOHLEFASERBESCHICHTUNG
UND
CHARAKTERISIERUNG
.
127
4.1
LITERATURASPEKTE
ZU
FASERBESCHICHTUNG
UND
OXIDATIONSVERHALTEN
.
127
4.2
INFILTRATION
UND
BESCHICHTUNG
VON
PROBEKOERPERN
.
130
4.2.1
BESCHICHTUNGSERGEBNISSE
AUS
DEM
KAPITEL
YYMODELLENTWICKLUNG
"
.
130
4.2.2
EINFLUSS
DER
AMMONIAK-DOSIERUNG
.
134
4.2.3
INFILTRATION
UND
BESCHICHTUNG
VON
POROESEN
PROBEN
.
136
4.2.4
VERGLEICH
DER
BESCHICHTUNG
AUF
QUARZ
UND
GRAPHIT
.
139
4.2.5
GLEICHMAESSIGE
SCHICHTDICKEN
IN
AXIALER
RICHTUNG
.
141
4.2.6
CHARAKTERISIERUNG
DER
SCHICHTEN
.
143
43
STATIONAERE
FASERBESCHICHTUNG
.
145
4.3.1
VARIATION
DER
FILAMENTANZAHL
.
145
4.3.2
OPTIMIERUNG
DER
ANORDNUNG
DES
FASERSTRANGES
.
148
4.3.3
MODELLIERUNG
DER
ABSCHEIDUNG
AUF
KOHLEFASEM
.
151
4.4
KONTINUIERLICHE
FASERBESCHICHTUNG.
153
4.4.1
BEDINGUNGEN
DER
KONTINUIERLICHEN
BESCHICHTUNG
.
153
4.4.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
BESCHICHTETEN
KOHLEFASEM
.
155
43
RESUEMEE
DER
BESCHICHTUNG.
159
5.
MODELLVORHERSAGEN
FUER
MOEGLICHE
ANWENDUNGEN.
161
5.1
KONZENTRATIONEN
SAEMTLICHER
KOMPONENTEN
.
161
5.2
TEMPERATURVERLAEUFE
FUER
OPTIMALE
SCHICHTDICKE
UND
UMSATZGRADE
.
162
5.3
REDUZIERUNG
DER
INERTGAS-DOSIERUNG
.165
5.4
BESCHICHTUNG
EINER
PROBE
IN
ABSCHNITTEN
DER
REAKTIONSZONE
.
166
6.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
172
III
ANHANG.
177
A
SYMBOLVERZEICHNIS
.177
B
PROGRAMM
UND
DATENFILE
DER
MODELLIERUNG
MIT
SIMUSOLV
.
179
B
.
1
PROGRAMMFILE
FUER
DIE
GESAMTABSCHEIDUNG
.
179
B.2
EXEMPLARISCHER
DATENFILE
.
182
B.3
PROGRAMMFILE
FUER
DIE
YYGETRENNTE
"
ABSCHEIDUNG
.
184
LITERATURVERZEICHNIS.
186 |
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