APA (7th ed.) Citation

Puhl, A. (1999). Die chemische Gasphasenabscheidung von Siliciumnitrid: Modellentwicklung und Anwendung (Als Ms. gedr.). Shaker.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Puhl, Andreas. Die Chemische Gasphasenabscheidung Von Siliciumnitrid: Modellentwicklung Und Anwendung. Als Ms. gedr. Aachen: Shaker, 1999.

MLA (9th ed.) Citation

Puhl, Andreas. Die Chemische Gasphasenabscheidung Von Siliciumnitrid: Modellentwicklung Und Anwendung. Als Ms. gedr. Shaker, 1999.