APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Hitchon, W. N. G. (1999). Plasma processes for semiconductor fabrication (1. publ.). Cambridge Univ. Press.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Hitchon, William N. G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. 1. publ. Cambridge [u.a.]: Cambridge Univ. Press, 1999.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Hitchon, William N. G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. 1. publ. Cambridge Univ. Press, 1999.