Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al 2 O 3 aus AlCl 3 -CO 2 -H 2 -HCl-Gemischen:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Mainz
1999
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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1
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
_
.
.
1
2
STAND
DER
FORSCHUNG
.
3
2.1
CVD
VON
A^OS-SCHICHTEN
.
3
2.1.1
UEBERBLICK
.
3
2.1.2
THERMODYNAMIK
UND
KINETIK
DER
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
PRECURSORSYSTEM
AICI3
CO2-H2
.
5
2.2
MODELLIERUNG
VON
CVD-PROZESSEN
.
13
3
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
.
16
3.1
VERSUCHSAUFBAU
.
16
3.2
KALIBRIERUNG
DES
ALCLS-GENERATORS
.
18
3.3
BESTIMMUNG
DER
TEMPERATURPROFILE
.
19
3.4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
24
3.5
VERSUCHSERGEBNISSE
.
26
3.5.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
ABGESCHIEDENEN
SCHICHTEN
.
26
3.5.2
KINETIK
DER
ABSCHEIDUNG
.
28
4
BENUTZUNG
DER
SIMULATIONSBASIS
PHOENICS.34
4.1
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
.
34
4.2
GITTER,
STOFFDATEN
UND
RANDBEDINGUNGEN
.
39
5
MODELLIERUNG
UND
SIMULATION
DES
CVD-PROZESSES
.44
5.1
EINFLUSS
DER
REAKTOR-ASYMMETRIE
AUF
STROEMUNG
UND
VERMISCHUNG
-
3D-SIMULATION.44
5.2
TEMPERATURVERTEILUNG
.
48
5.3
MODELLE
UND
SIMULATION
DER
ABSCHEIDEKINETIK
.
52
5.3.1
MODELL
1
.
55
5.3.2
MODELL
N
.
58
5.3.3
MODELL
HI
.
64
5.4
SIMULATION
LOKALER
ABSCHEIDERATEN
UND
KONZENTRATIONSPROFILE
.
70
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK.72
7
LITERATUR
.76
8
ANHANG.
.
83 |
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