Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1998
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 159 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012501724 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 990323s1998 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 955895049 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)613877791 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012501724 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29T |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Flöter, André |d 1967- |e Verfasser |0 (DE-588)120865017 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten |c von André Flöter |
| 264 | 1 | |c 1998 | |
| 300 | |a 159 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Ulm, Univ., Diss., 1998 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kristallfläche |0 (DE-588)4151344-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Heteroepitaxie |0 (DE-588)4260178-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Kristallfläche |0 (DE-588)4151344-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Heteroepitaxie |0 (DE-588)4260178-2 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008486994&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008486994 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807773153064124416 |
|---|---|
| adam_text |
1
EINLEITUNG
3
2
GRUNDLAGEN
6
2.1
D
IAMANTSCHICHTWACHSTUM
.
6
2.1.1
EIGENSCHAFTEN
VON
DIAMANT.
.
7
2.1.2
KOHLENSTOFF
UND
SEINE
VERSCHIEDENEN
MODIFIKATIONEN
.
9
2.1.3
CYD
VERFAHREN
ZUR
DIAMANTABSCHEIDUNG.
.
12
2.1.4
GASPHASENZUSAMMENSETZUNG
.15
2.1.5
GASPHASEN
UND
OBERFLAECHENREAKTIONEN
.
19
2.1.6
SCHICHTTEXTUR
UND
WACHSTUMSDEFEKTE.
.
23
2.2
H
ETEROGENE
D
IAMANTKEIMBILDUNG
.
30
2.2.1
THERMODYNAMISCH
UND
KINETISCH
KONTROLLIERTE
KEIMBILDUNG.
.
30
2.2.2
STATISTISCH
ORIENTIERTE
KEIMBILDUNG
VON
DIAMANT.
.
35
2.2.3
HETEROEPITAKTISCH
ORIENTIERTE
KEIMBILDUNG
.41
2.3
C
HARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
48
3
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
_
_
.
_
.
.
._
.
52
3.1
M
IKROWELLENPLASMA
-CVD
.53
3.2
D
AS
G
ASVERSORGUNGSSYSTEM
.
55
3.3
P
ROZEBBEDINGUNGEN
.
57
4
HETEROEPITAKTISCHE
DIAMANTKEIMBILDUNG
DURCH
DC-BIAS
_
62
4.1
K
EIMBILDUNG
DURCH
DC-B
IAS
.63
4.2
E
LEKTRONENMIKROSKOPISCHE
G
RENZFLAECHENUNTERSUCHUNQ
.
67
4.3
C'
J
T
RACEREXPERIMENTE
ZUR
U
NTERSUCHUNGEN
DES
K
EIMBILDUNGSPROZESSES
.
72
4.4
AE
TZRATENBESTIMMUNG
WAEHREND
DC-B
IAS
V
ORBEHANDLUNG
.
79
4.5
D
ISKUSSION
.
87
5
NEUES
VERFAHREN
ZUR
HETEROEPITAKTISCHEN
DIAMANTKEIMBILDUNG
_
91
5.1
K
EIMBILDUNG
DURCH
AC-B
IAS
.
92
5.2
KEIMBILDUNG
DURCH
GEPULSTE
BLAS-SPANNUNG
.
98
5.3
AETZRATENBESTIMMUNG
WAEHREND
GEPULSTER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
107
5.4
D
ISKUSSION
.
110
6
WEITERENTWICKLUNG
VON
PROZESSEN
ZUM
100
TEXTURIERTEN
DIAMANTSCHICHTWACHSTUM
AUF
(001)
SILIZIUM
_
114
6.1
E
INFLUB
VON
S
TICKSTOFF
AUF
DIE
D
IAMANTSCHICHTMORPHOLOGIE
.
115
6.2
W
ACHSTUM
UND
STRUKTURELLE
E
IGENSCHAFTEN
HOCHORIENTIERTER
D
IAMANTSCHICHTEN
.
127
6.2.1
MEHRSCHRITTWACHSTUM
.
127
6.2.2
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN.
.
130
6.3
ANWENDUNGEN
.
141
7
DANKSAGUNG
146
8
LITERATUR
148
9
VEROEFFENTLICHUNGEN
UND
VORTRAEGE
_
156
10
LEBENSLAUF.
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------
159 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Flöter, André 1967- |
| author_GND | (DE-588)120865017 |
| author_facet | Flöter, André 1967- |
| author_role | aut |
| author_sort | Flöter, André 1967- |
| author_variant | a f af |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012501724 |
| ctrlnum | (OCoLC)613877791 (DE-599)BVBBV012501724 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV012501724</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">990323s1998 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">955895049</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)613877791</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012501724</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Flöter, André</subfield><subfield code="d">1967-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)120865017</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten</subfield><subfield code="c">von André Flöter</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1998</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">159 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Ulm, Univ., Diss., 1998</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristallfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151344-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Heteroepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260178-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Kristallfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151344-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Heteroepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260178-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008486994&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008486994</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012501724 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-19T00:20:25Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008486994 |
| oclc_num | 613877791 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-29T DE-11 DE-188 |
| physical | 159 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1998 |
| publishDateSearch | 1998 |
| publishDateSort | 1998 |
| record_format | marc |
| spelling | Flöter, André 1967- Verfasser (DE-588)120865017 aut Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten von André Flöter 1998 159 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Ulm, Univ., Diss., 1998 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Kristallfläche (DE-588)4151344-7 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Diamant (DE-588)4012069-7 gnd rswk-swf Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Kristallfläche (DE-588)4151344-7 s Diamant (DE-588)4012069-7 s Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008486994&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Flöter, André 1967- Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Kristallfläche (DE-588)4151344-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4151344-7 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4012069-7 (DE-588)4260178-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten |
| title_auth | Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten |
| title_exact_search | Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten |
| title_full | Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten von André Flöter |
| title_fullStr | Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten von André Flöter |
| title_full_unstemmed | Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten von André Flöter |
| title_short | Heteroepitaktische Keimbildung von Diamant auf Silizium und Wachstum <100> texturierter Diamantschichten |
| title_sort | heteroepitaktische keimbildung von diamant auf silizium und wachstum 100 texturierter diamantschichten |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Kristallfläche (DE-588)4151344-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 gnd |
| topic_facet | Silicium Kristallfläche CVD-Verfahren Diamant Heteroepitaxie Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008486994&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT floterandre heteroepitaktischekeimbildungvondiamantaufsiliziumundwachstum100texturierterdiamantschichten |