Lesch, M. (1990). Entwicklung einer Waferhalterung zum einseitigen elektrochemischen Ätzen eines Siliziumwafers: Diplomarbeit FB06 Physikalische Technik. Fachhochschule.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Lesch, Martin. Entwicklung Einer Waferhalterung Zum Einseitigen Elektrochemischen Ätzen Eines Siliziumwafers: Diplomarbeit FB06 Physikalische Technik. München: Fachhochschule, 1990.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Lesch, Martin. Entwicklung Einer Waferhalterung Zum Einseitigen Elektrochemischen Ätzen Eines Siliziumwafers: Diplomarbeit FB06 Physikalische Technik. Fachhochschule, 1990.
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