Rahn, S. (1998). Konzeption, Aufbau und Inbetriebnahme eines Reflektometers zur ortsauflösenden Charakterisierung von EUV-Optikkomponenten mit lateral variablen Eigenschaften.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Rahn, Stephen. Konzeption, Aufbau Und Inbetriebnahme Eines Reflektometers Zur Ortsauflösenden Charakterisierung Von EUV-Optikkomponenten Mit Lateral Variablen Eigenschaften. 1998.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Rahn, Stephen. Konzeption, Aufbau Und Inbetriebnahme Eines Reflektometers Zur Ortsauflösenden Charakterisierung Von EUV-Optikkomponenten Mit Lateral Variablen Eigenschaften. 1998.
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