Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf: mit 10 Tabellen
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Berlin [u.a.]
Springer
1998
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INHALTSVERZEICHNIS
0 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 11
1 EINLEITUNG 15
2 STAND DER TECHNIK 17
2.1 NITRIEREN 18
2.1.1 PLASMANITRIEREN 20
2.1.2 DIFFUSIONS- UND VERBINDUNGSSCHICHT BEIM NITRIEREN .....21
2.1.3 SCHICHTBILDUNGSMECHANISMEN 23
2.2 OBERFLAECHENBESCHICHTUNG.......... 25
2.2.1 HARTSTOFFSCHICHTEN 26
2.2.2 SCHICHTENTWICKLUNG 27
2.2.3 PLASMAUNTERSTUETZTE CHEMISCHE GASPHASENABSCHEIDUNG (PACVD) .29
2.2.4 PACVD VON TIN-HARTSTOFFSCHICHTEN 31
2.3 KOMBINATION VON NITRIERUNG UND HARTSTOFFBESCHICHTUNG 34
2.3.1 VERFAHREN ZUR KOMBINATIONSBEHANDLUNG 35
2.3.2 KOMBINATIONSSCHICHTEN DURCH PLASMANITRIEREN UND PACVD 36
2.4 SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 38
2.4.1 MECHANISCHE VERFAHREN ZUR CHARAKTERISIERUNG VON SCHICHTEN 38
2.4.2 PHYSIKALISCHE VERFAHREN ZUR ANALYSE VON SCHICHTEN.. 45
3 PHYSIKALISCHE UND PHYSIKALISCH-CHEMISCHE GRUNDLAGEN DER
PLASMABESCHICHTUNG 49
3.1 VAKUUM UND KINETISCHE GASTHEORIE 49
3.2 PLASMA 51
3.2.1 GLEICHSTROMGASENTLADUNG 52
3.2.2 IONISIERUNGSGRAD 54
3.2.3 ELEKTRONEN- UND IONENTEMPERATUR 55
3.3 GRUNDLEGENDE VORGAENGE UND REAKTIONEN..... 56
3.3.1 DIFFUSION .- 56
3.3.2 VOLUMENREAKTIONEN 58
3.3.3 OBERFLAECHENREAKTIONEN 61
3.3.4 PHYSIKALISCH-CHEMISCHE REAKTIONEN 63
IMAGE 2
4 VERSUCHSAUFBAU ZUR SCHICHTHERSTELLUNG 65
4.1 VERSUCHSAUFBAU ZUM PLASMANITRIEREN UND PACVD 65
4.1.1 GASVERSORGUNG 67
4.1.2 PUMPSTAND 68
4.1.3 REAKTOR 71
4.1.4 ABGASBEHANDLUNG 73
5 HERSTELLUNG UND EIGENSCHAFTEN DER SCHICHTEN 76
5.1 PROBENMATERIAL 76
5.2 BESCHICHTUNGSGERECHTE NITRIERUNG 76
5.2.1 VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 77
5.2.2 AUSWERTUNG DER NITRIERVERSUCHE 78
5.2.3 ERGEBNISSE DER NITRIERVERSUCHE 79
5.3 ABSCHEIDUNG VON TIN-HARTSTOFFSCHICHTEN , 87
5.3.1 VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 87
5.3.2 AUSWERTUNG DER SCHICHTEIGENSCHAFTEN 89
5.3.3 ERGEBNISSE DER TIN-BESCHICHTUNGSVERSUCHE 92
5.4 ABSCHEIDUNG VON KOMBINATIONSSCHICHTEN 100
5.4.1 VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 100
5.4.2 EIGENSCHAFTEN DER KOMBINATIONSSCHICHTEN 101
5.5 DISKUSSION DER ERGEBNISSE 109
6 ANWENDUNGEN 113
6.1 EINSATZ VON KOMBINATIONSSCHICHTEN IN DER UMFORMTECHNIK 114
6.2 EINSATZ VON KOMBINATIONSSCHICHTEN IN DER KUNSTSTOFFVERARBEITUNG 118
6.3 BEWERTUNG DES KOMBINATIONSBESCHICHTUNGSVERFAHRENS 121
7 ZUSAMMENFASSUNG 123
8 LITERATUR 125
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