Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | Undetermined |
| Published: |
1997
|
| Subjects: | |
| Physical Description: | 170 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012155897 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19990202 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 980916s1997 ad|| m||| 00||| undod | ||
| 035 | |a (OCoLC)632499966 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012155897 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-634 | ||
| 084 | |a ZN 4980 |0 (DE-625)157428: |2 rvk | ||
| 084 | |a MAS 990d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 792d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Banse, Klaus-Dieter |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik |c von Klaus-Dieter Banse |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a 170 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Berlin, Techn. Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008234306 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804126766553366528 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Banse, Klaus-Dieter |
| author_facet | Banse, Klaus-Dieter |
| author_role | aut |
| author_sort | Banse, Klaus-Dieter |
| author_variant | k d b kdb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012155897 |
| classification_rvk | ZN 4980 |
| classification_tum | MAS 990d FER 792d |
| ctrlnum | (OCoLC)632499966 (DE-599)BVBBV012155897 |
| discipline | Fertigungstechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Maschinenbau |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01183nam a2200361 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV012155897</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19990202 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980916s1997 ad|| m||| 00||| undod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)632499966</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012155897</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4980</subfield><subfield code="0">(DE-625)157428:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MAS 990d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 792d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Banse, Klaus-Dieter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik</subfield><subfield code="c">von Klaus-Dieter Banse</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">170 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Berlin, Techn. Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008234306</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012155897 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:22:40Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008234306 |
| oclc_num | 632499966 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-634 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-634 |
| physical | 170 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Banse, Klaus-Dieter Verfasser aut Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik von Klaus-Dieter Banse 1997 170 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berlin, Techn. Univ., Diss., 1997 Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s DE-604 |
| spellingShingle | Banse, Klaus-Dieter Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4205811-9 (DE-588)4039207-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik |
| title_auth | Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik |
| title_exact_search | Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik |
| title_full | Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik von Klaus-Dieter Banse |
| title_fullStr | Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik von Klaus-Dieter Banse |
| title_full_unstemmed | Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik von Klaus-Dieter Banse |
| title_short | Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik |
| title_sort | die rolle der halbleitertechnik fur die mikroproduktionstechnik |
| topic | Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd |
| topic_facet | Mikromechanik Mikroelektronik Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT banseklausdieter dierollederhalbleitertechnikfurdiemikroproduktionstechnik |